판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura SA CVD #9116524

AMAT Centura® SA CVD는 APPLIED MATERIALS에서 설계 및 제조 한 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 반도체 장치 및 회로의 생산에 가장 일반적으로 사용됩니다. CVD 원자로는 열 (heat) 과 기체 (gaseous) 반응물 조합을 사용하여 물질의 얇은 필름을 기판에 침전시켜 반도체 소자의 형성을 가능하게한다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura® SA CVD 원자로는 정확한 고 수율 침착 및 에칭 프로세스를 제공하는 단일 웨이퍼 확산 원자로입니다. 원자로는 고급 펄스 (pulsed) 전원을 사용하여 높은 품질의 필름을 생산하는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. CVD 원자로에서도 온도 조절이 매우 정확하며, 최대 1050 ° C (1922 ° F) 의 온도에 정확하게 제어할 수 있습니다. 원자로 챔버 (Reactor Chamber) 는 균일성 및 입자 제어 개선을 위해 직접 흐름 기술을 활용하도록 설계되었습니다. 또한 현장 모니터링 기능 (in-situ monitoring feature) 을 통해 실시간 프로세스를 지속적으로 모니터링할 수 있으며, 시간 또는 자료 낭비 없이 필요한 수정 작업을 수행할 수 있습니다. 원자로 내부 벽에는 특수한 내화 물질 (refractory material) 이 코팅되어 균일 한 증착을 보장합니다. AMAT Centura® SA CVD 원자로는 통합 자동화 및 진단 기능도 제공하여 빠르고 쉽게 프로세스를 수정할 수 있습니다. 원자로의 자동 제어 시스템 (Automated Control System) 은 프로세스 시간과 온도를 모니터링하고 필요한 경우 조정하는 기능을 통해 여러 증착실을 정확하게 제어합니다. 또한, 원자로는 문제를 감지할 수있는 고급 진단 (advanced diagnostic) 기능을 갖추고 있어 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura® SA CVD 원자로는 최고의 생산성과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 자동화된 기능과 정확한 온도 제어는 전체 기판에 균일 한 필름 증착을 보장하는 반면, 직관적인 소프트웨어는 여러 증착실을 빠르고, 쉽게 설정, 제어, 모니터링하기에 적합합니다. 또한 고급 진단 (Diagnostic) 기능은 비용이 많이 드는 다운타임을 방지하기 위해 고안되었으며, 최소한의 폐기물로 더 많은 수출을 보장합니다.