판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura SA CVD #293767652

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SA CVD (Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) 원자로는 저압 및 고압 화학 증기 증착 (CVD) 을 포함한 다양한 작업을 수행 할 수있는 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 실리콘, 갈륨 비소, 폴리 실리콘, 금속 등 다양한 기질과 붕산염, 사파이어, 질소 산화물 등의 유전체를 처리하도록 설계되었습니다. 이 원자로 의 다재다능 한 성질 은 또한 여러 가지 다른 물질 들 을 다른 온도 에서 처리 할 수 있게 해 주며, 그 결과 로 더 큰 유연성 을 얻을 수 있게 해 준다. "깨어라!" 설계 측면에서 AMAT Centura SA CVD 원자로는 큰 가열 볼륨이있는 APCVD 도가니 (crucible) 를 특징으로하여 일관되고 안정적인 고정밀 증착을위한 환경을 제공합니다. 독립적 인 APCVD 도가니는 흑연 재료 히터에 의해 가열되며, 최대 100kHz 범위에서 0 ~ 13V PWM (pulse-width modulation) 신호로 구동됩니다. 이 히터에는 사용자가 지시하는 대로 원하는 온도 조건을 유지하기 위해 조정 가능한 세트 포인트 (setpoint) 온도 조절 장비가 있습니다. 또한, APCVD 도가니 (crucible) 에는 증착 중 열 성능을 모니터링하는 데 사용할 수있는 독립적으로 조절 가능한 온도 센서가 제공됩니다. APCVD 도가니 (crucible) 는 또한 내부 인젝터를 특징으로하여 공정 챔버에 반응물과 운반 가스의 지속적인 흐름을 제공합니다. 응고 매개변수를 정확하게 제어하기 위해 APPLIED MATERIALS Centura SA CVD 원자로에는 조절 가능한 열 전도성 조절 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치 는 반응 "챔버 '대기 의 대류 및 전도 효과 를 조정 할 수 있게 해 주며, 고도 로 조종 된 물질 의 증착 을 더 잘 조절 할 수 있게 해 준다. Centura SA CVD 원자로에는 또한 고정밀 임피던스 (impedance) 측정 기계가 장착되어 챔버의 전자 밀도 및 전도성의 정확한 측정을 보장합니다. 이렇게 하면 증착 매개변수 (deposition parameters) 를 더 잘 제어할 수 있으며 증착 두께와 균일성을 정확하게 측정하는 데 필요한 기초를 제공합니다. 또한, 원자로에는 정확하고 균일 한 증착을 보장하기 위해 자동 표면 청소 도구 (automatic surface cleaning tool) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SA CVD 원자로는 다양한 증착 응용 분야에 적합한 도구입니다. 이 원자로는 다양하고, 신뢰할 수 있으며, 정확하고, 일관성 있고, 반복 가능한 증착 과정을 보장하기 위해 여러 가지 중요한 기능을 갖추고 있습니다.