판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+ #9282073
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE + 는 반도체 웨이퍼의 저압, 빠른 열 처리를 위한 도구입니다. 이 원자로는 RTC (Rapid Thermal Cycling) 를 사용하여 웨이퍼 내에서 설계 기능을 빠르게 활성화 및 비활성화하여 고성능 반도체 구조를 만들 수 있습니다. XE + 유형은 MOCVD (metal-organic chemical vapor deposition) 시스템으로, 이전 원자로보다 작은 크기의 기능을 사용하여 복잡한 디자인을 만들 수 있도록 설계되었습니다. XE + 원자로는 초고순도 C2-F6-PF6 가스를 사용하여 피쳐를 정확하게 생성하고 여러 실행에 걸쳐 균일성을 만듭니다. 원자로의 수평으로 장착 된 열원과 초고품질 가스 전달 (통합 온도 조절 시스템) 을 통해 전례없는 수준의 정밀도, 반복성, 속도에 도달 할 수 있습니다. 이것은 최대 1000 ° C의 정확한 온도를 유지할 수있는 석영 가열 온도 영역 (quartz-heated temperature zone) 과 웨이퍼와 석영 서랍을 수평 방향으로 움직이는 색인 단계 (indexing stages) 에 의해 이루어집니다. 이 빠르고 정확한 난방 및 냉각은 2 초 이하의 열 주기를 가능하게하여 낮은 열 예산 처리를 가능하게합니다. 작동 측면에서 XE + 는 최대 2 개의 125mm 웨이퍼를 한 번에 처리 할 수 있으며, 원자로 내 모든 매개변수를 제어하는 디자이너로 완전히 자동화되었습니다. 또한 XE + 에는 정밀 타이밍 제어, 비활성 가스 제거 (inert gas purging) 및 자동 엔드 포인트 감지 (end point detection) 가 포함되어 있어 프로세스의 정확성과 속도를 더욱 향상시킵니다. 또한, XE + 에는 후면 캐치 도어 (catch cator door) 가 닫히고 잠겨 있을 때만 활성화되는 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 전체적으로 AMAT Centura RTP XE + 는 반도체 웨이퍼에서 빠른 열 처리를 수행하는 놀라운 도구입니다. 견고한 디자인, 정밀 제어, 자동화된 기능으로, 고성능 반도체 설계를 만드는 진정한 게임 체인저입니다.
아직 리뷰가 없습니다