판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9216582

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE (Reactive Thermal Processing) 는 고급 반도체 장치 제조에서 고성능 원자로입니다. 원자로 (reactor) 는 사용자 친화적 인 인터페이스와 프로세스 매개변수를 갖춘 완전한 자동화 (full automation) 기능을 갖추고 있으며, 빠르고 정확하게 프로그래밍 할 수 있습니다. 모든 기능을 갖춘 환경을 사용하면 온도, 압력, 가스 구성과 같은 중요한 처리 매개변수를 현장 내에서 모니터링할 수 있습니다. AMAT Centura RTP XE 원자로는 수명이 긴 절연 장비로 설계되어 시스템 내부의 온도와 대기 상태를 일관되게 유지할 수 있습니다. 따라서 다양한 애플리케이션 프로세스에 대해 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다. 방은 또한 원자로에서 최대 4 개의 서로 다른 구역을 동시에 가열하기 위해 다중 구역 가열 프로파일 (multi-zone heating profile) 을 사용합니다. APPLIED MATERIALS Centura RTP XE는 응용 프로그램에 따라 다양한 챔버 크기를 특징으로합니다. 최대 크기는 13 인치 챔버 직경을 제공합니다. 또한, 프로세스 요구에 따라 선택할 수있는 라이너 (liner) 재료를 선택할 수 있습니다. 선택에는 석영, 흑연 및 스테인리스 스틸이 포함됩니다. Centura RTP XE 원자로에는 저압 및 중압 프로판 전달 장치가 모두 장착되어 있습니다. 저압 머신 (low-pressure machine) 은 프로판 (propane) 비율이 높고 중압 도구 (medium-pressure tool) 는 속도가 낮기 때문에 반복 가능한 프로세스 시간이 가능합니다. 이 이중 전달 자산은 반응 과정 전반에 걸쳐 지속적인 압력과 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE 원자로는 고온과 긴 처리 시간에 맞춰 견고하고 안정적으로 설계되었습니다. 이 제품은 첨단 열 제어 (Advanced Thermal Control) 모델과 특허받은 대기 압력 제어 (Patented Atmospheric Pressure Control) 기술을 모두 갖추고 있으며, 이는 반응 주기 내내 일관된 출력을 보장하는 데 도움이됩니다. 또한 다양한 알람 (alarm) 및 안전 (safety) 기능을 통해 장치와 사용자의 예기치 않은 결함을 보호할 수 있습니다. AMAT Centura RTP XE 원자로에는 프로판 공급이 실패할 경우 대체 가스 공급을 보장하는 질소 퍼지 장비 (nitrogen purge equipment) 와 필요에 따라 가스의 흐름을 조정하는 대량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 를 포함한 다양한 보조 장치가 포함되어 있습니다. 또한 열 분배를위한 가변 속도 팬 (variable speed fan) 과 챔버에서 먼지, 입자와 같은 잔해를 제거하기위한 빠른 청소 기능 (fast-cleaning feature) 이 있습니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS Centura RTP XE 원자로에는 업계 최고의 CCDopticTM 광학 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 온도 (temperature) 와 압력 (pressure) 을 정확하게 모니터링하고 강력한 분석 기능을 제공하여 반응 환경을 제어합니다. 따라서 프로세스 매개변수를 세밀하게 조정하여 일관성 있고 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 요약하면, Centura RTP XE 원자로는 고급 반도체 장치 제작 작업이 높은 성능과 생산성을 달성하도록 지원합니다. 보조 장치, CCDopticTM 광학 머신과 결합된 신뢰할 수 있고 반복 가능한 특성으로, 많은 산업 수준 응용 프로그램에 이상적인 선택이되었습니다.