판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #293625549

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD Reactor는 고정밀 고성능 PVD (Physical Vapor Deposition) 장비입니다. 원자로는 반도체 제품 (예: 높은 증착율, 낮은 기판 온도) 과 같은 기판에서 박막 층을 처리하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 금속 질화물, 금속 산화물, 폴리 실리콘 등 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이 장치에는 10.2 "dia 크기와 100 Torr 기본 압력이있는 뜨거운 벽 석영 챔버가 있습니다. 원자로 챔버에는 금속 박막 증착을위한 임베디드 필라멘트 (embedded filament) 도 포함되어 있습니다. 내장 가스 흐름 머신 (gas flow machine) 은 균일 한 가스 분포 및 유속의 정확한 제어 및 정확한 용량의 증착 가스 전달을 위해 설계되었습니다. 원자로는 특허를받은 열 교환기 (heat exchanger) 도구로 구동되며, 열 효율이 높은 3 개의 공기 흐름 채널을 사용하여 정밀한 프로세스 온도를 유지하면서 전력 소비를 최소화합니다. APPLIED MATERIALS/AMAT Centura PVD Reactor에는 정확한 종점 탐지를위한 고해상도 디지털 카메라 에셋과 독립 프로세스 제어를 위한 가변 속도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 모델에는 원자로 상태에 대한 실시간 정보를 제공하는 진행 중 진단 장비 (in-process diagnostic equipment) 도 함께 제공됩니다. 내장형 무선 인터페이스를 통해 컴퓨터와 같은 외부 장치 (예: 컴퓨터) 와의 통신이 가능하며, 시스템이 작동하는 동안 원자로 데이터를 수집하고 처리할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS/APPLIED MATERIALS Centura PVD Reactor는 암호 보호, 사용자 인증 등 다양한 보안 기능을 제공하여 안전한 운영을 보장합니다. 이 장치에는 온도, 압력 센서 (temperature/pressure sensor) 를 포함한 다양한 환경 센서가 있으며, 이 센서는 안전 향상을 위해 작동 상태를 모니터링하고 제어합니다. 요약하자면, AMAT/Centura PVD Reactor는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 PVD 기계로, 감소 된 온도에서 정확한 박막 증착을 가능하게합니다. 원자로에는 임베디드 필라멘트 (Embedded Filament), 고해상도 디지털 카메라 도구 (High-Resolution Digital Camera Tool) 및 완벽한 프로세스 제어를 제공하는 실시간 진단 자산 (Diagnostic Asset) 과 같은 다양한 기능이 있습니다.