판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEON #9300660
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEON 원자로는 균일성, 성능 및 수율을 향상시키면서 생산성과 비용 절감을 향상시키도록 설계된 차세대, 고출력, 에피택시 증착 및 에치 처리 시스템입니다. 멀티 이블 챔버 아키텍처를 갖춘 Centura NLighten (Centura NLighten) 은 가열 된 기판과 시원한 기판을 모두 갖추고 있으며, 추가 응용 프로그램에 3 분의 1을 추가하여 최대 챔버 사용을 허용합니다. 이 온도는 ± 2 ° C의 온도 균일성과 ± 2.5% 의 에치 균일성을 가지고 있으며, 이는 다른 온도에서 어느 때보 다 프로세스 안정성을 제공하며, 수율을 지속적으로 높게 유지하는 데 도움이됩니다. NLighten은 고성능, 강력한 동시 증착 및 에치 (etch) 모듈을 사용하여 최고의 수준의 프로세스 균일성을 제공하며, 궁극적으로 수율 및 장치 성능을 향상시킵니다. 22 인치 또는 25 인치 광각 시야와 다중 수소 가스 분포를 갖추고 있으며, 증착 및 에치 (etch) 공정에 대한 매우 정밀한 제어를 통해 다양한 처리 요구에 사용될 수 있습니다. CVD 클러스터 구성 요소는 또한 가솔린 산화 라이너 (gasoline oxidation liner) 및 맞춤형 가스 분포 방법을 통해 개선 된 프로세스 균일성을 자랑합니다. 고온 응용의 경우, 원자로는 고순도 질소가 필요하지 않은 고온 안정성 ± 2 ° C의 뛰어난 성능을 제공합니다. 이로 인해 사이클 시간이 크게 단축됩니다. AMAT Centura NLighten NEON 원자로는 시간당 최대 200 웨이퍼 (WPH) 의 기능을 갖춘 시스템 처리량을 최대한 활용하도록 설계되었습니다. 따라서 부품 손상 위험이 매우 낮은 대용량 생산을위한 완벽한 도구입니다. 또한 최대 15 평방 미터의 공간으로 이전 모델보다 발자국이 훨씬 적습니다. APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEON 원자로는 에치 및 증착 요구에 대한 효율적이고 비용 효율적이며 신뢰할 수있는 실험실 원자로를 찾는 사람들에게 적합한 선택입니다. 다용도 기능, 고온 안정성, 대용량 배치 처리 능력 등을 갖춘 이 원자로는 가장 까다로운 처리 (processing) 애플리케이션에 필요한 성능과 효율성을 완벽하게 조합해 줍니다.
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