판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116852

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP + Reactor (MxP +) 는 높은 처리량, 저가형, 저가형, 멀티 챔버 화학 원자로입니다. 산화물, 질화물, 폴리 실리콘, 탄소 나노 튜브 필름 등 다양한 결정질 및 비정질 물질을 처리하기에 적합합니다. MxP + 원자로 (MxP + Reactor) 는 최적화된 시간 및 온도 균일성, 도켓 크기에 대한 제어 향상, 제품 성능 향상 등 프로세스 효율성이 크게 향상되도록 설계되었습니다. 공간 및 고속 사이클 시스템은 최대 1000 개의 웨이퍼를 단일 웨이퍼 (single-wafer) 프로세싱할 수 있으며, 각 챔버에서 시간과 온도를 통해 정확하게 제어할 수 있습니다. 혁신적인 완전 자동화 장비는 웨이퍼를 한 방에서 다른 방으로 옮길 때에도 프로세스의 균일성을 +/-2% 이내로 보장합니다. 원자로의 멀티 스크린 브리지 (multi-screen bridge) 기술은 견고하며, 다양한 필름 두께로 처리량을 높입니다. MxP + Reactor의 특수 디자인은 매우 효율적이고 비용 효율적입니다. 모듈식 플러그 앤 플레이 설계를 통해 쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 완전히 자동화되어 있으며, 최소한의 직원 교육을 통해 작동할 수 있습니다. 온도와 압력 안전 (pressure safety) 설계를 포함한 내장 안전 메커니즘은 부드럽고 안전한 작동을 허용합니다. MxP + 원자로는 빠르고, 정확하며, 안정적이며, 다양한 반도체 애플리케이션에 사용될 수 있습니다. 견고한 설계를 통해 높은 생산성과 균일성을 보장하고, 다양한 구성에서 빠르고, 정확하게 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 챔버 감지 (chamber sensing) 에 의해이 장치의 챔버를 사용하면 전체 범위의 필름 두께를 측정 할 수 있습니다. 또한, MxP + 원자로는 가스 사용량이 낮아 에너지 비용 절감, 운영 배출량 감소 등의 효과를 제공합니다. 전반적으로 AMAT Centura MxP + Reactor는 다양한 반도체 처리 애플리케이션을 위해 다용도 및 비용 효율적인 솔루션입니다. 뛰어난 처리 능력, 정확한 제어 능력, 비용 절감, 에너지 효율성, 유지 보수 기능을 모두 하나의 고품질 원자로 머신에 제공합니다.