판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116736

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP + 원자로는 고급 마이크로 장치를 생산하기 위해 설계된 높은 처리량, 단일 웨이퍼 원자로입니다. MxP + 장비 (MxP + 장비) 는 다양한 프로세스 플랫폼으로, 사용자가 다양한 프로세스를 개발하고 활용할 수 있게 해 줍니다. MxP + 는 대형 플랫 베드 (flat-bed) 원자로 챔버를 특징으로하며 기판 표면에 균일 한 온도 및 플라즈마 분포를 생성합니다. MxP + 원자로에는 두 개의 프로세스 모듈이 있으며, 이 모듈은 독립적으로 또는 함께 사용할 수 있습니다. 첫 번째 모듈은 SPM (Standard Process Module) 으로, LPCVD (저압 화학 증기 증착) 와 같은 잘 특징 지정된 증착 기술을 사용하여 박막을 증착 할 수 있습니다. 두 번째 모듈은 고급 프로세스 기능을 위해 확장된 기능을 제공하는 APM (Advanced Process Module) 입니다. APM은 혈장 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 및 원자층 증착 (ALD) 에 사용될 수 있습니다. MxP + 원자로는 실레인, 산소, 암모니아 등 다양한 가스 및 반응성 물질로 작동 할 수 있습니다. 시스템은 두 프로세스와 완벽하게 호환되며, 두 모듈 간에 프로세스 결과가 전송될 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 높은 품질의 결과를 유지하면서 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. MxP + 는 관성 장치, 가스 통풍기, 산화 방지 도구, 온도 모니터링 자산 등 광범위한 안전 기능을 제공합니다. 이 기능은 안전한 운영 환경을 제공하고 기판의 손상 (damage) 이나 오염을 방지하기 위해 결합됩니다. MxP + 는 정교한 모니터링 및 제어 기술로도 설계되었습니다. 이 기술을 통해 광범위한 프로세스 매개변수를 동적으로 모니터링, 조정하여 증착률 (deposition rate), 증착 균일성 (deposition uniformity) 및 챔버 온도 (chamber temperity) 를 정확하게 제어 할 수 있습니다. AMAT Centura MxP + 는 높은 처리량과 높은 품질의 결과가 필요한 프로세스에 적합합니다. 반도체, 메모리 칩, LED, 태양전지에 이르기까지 다양한 분야에 이상적인 선택입니다. 다양한 두께 (thickness) 를 통해 증착할 수 있으며, 재현성이 뚜렷한 나노 스케일 (nano-scale) 장치를 만들어 일관되게 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.