판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #293600168

ID: 293600168
웨이퍼 크기: 8"
Oxide etcher, 8" (1) DPS chamber (1) RPS chamber (2) MxP chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP Reactor는 광범위한 고성능 에치, 증착, 클린 프로세스를 하나의 다용도 장비로 통합하도록 설계된 고급 에치/증착 도구입니다. 반도체, 디스크 드라이브 (disk drive) 부품, 박막 (thin film) 전자 제품 등 다양한 업종에서 다양한 웨이퍼 처리 응용 분야에 사용됩니다. AMAT Centura MxP의 주요 기능은 올인원 (All-in-one) 구성으로, 에치 및 증착 및 기타 웨이퍼 처리 기술을 단일 통합 플랫폼으로 결합합니다. 이 설계를 통해 유연성 (HA) 과 제어 (Control) 를 높일 수 있으므로 광범위한 재료와 레이아웃을 빠르고 정확하게 처리할 수 있습니다. 또한, 여러 가지 옵션과 구성을 사용할 수 있는 여러 가지 설계를 선택할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura MxP (APPLIED MATERIALS Centura MxP) 는 소규모 프로세스와 대규모 프로세스를 모두 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 산화물 에칭 (oxide etching), 박막 증착 (thin film deposition), 밀링 (milling) 과 같은 공정이 전체 웨이퍼 표면에서 일관되게 수행 될 수 있도록 높은 균일성을 제공하는 고급 다중 영역 플라즈마 에치 시스템이 특징입니다. 증착 과정 및 재료 품질을 제어 및 모니터링하기 위해 온와퍼 증착 장치 (on-wafer deposition unit) 도 포함됩니다. MxP 머신에는 고급 측정 기능이 장착되어 있어 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 최대의 품질 관리 및 프로세스 최적화를 보장할 수 있습니다. 또한 데이터 캡처/로깅 기능이 통합되어 데이터 수집/분석 기능을 제공합니다. Centura MxP의 주요 장점은 고급 자동화 기능입니다. 정교한 "로봇 '시스템은 유연하고 자동화된" 웨이퍼' 처리 및 쉬운 "프로그램 '설정을 가능하게 하기 위해 설계되었으며, 사용자는 응용 프로그램의 특정 요구를 충족하기 위해 레시피와 프로세스를 완전히 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP는 다양한 재료와 레이아웃을 빠르고 정확하게 처리 할 수있는 고급 일체형 에치 및 증착 자산입니다. 높은 수준의 유연성과 제어, 고급 자동화 기능, 통합된 데이터 캡처/로깅 기능 등으로 인해 대용량 운영 환경에 적합한 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다