판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD #293595636

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MCVD는 집적 회로 제조에 사용되는 도핑 된 에피 택시 필름 생산을 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 제어 장치, 전원 공급 장치, 증착실 및 웨이퍼 처리 프로세스로 구성됩니다. 제어 장치는 증착 시간, 온도, 압력 및 반응물 가스와 같은 작동 매개변수를 관리합니다. 연산자 인터페이스 및 PLC 프로그래밍이있는 소형 마이크로 프로세서가 포함되어 있습니다. 제어 장치 (Control Unit) 에는 원자로 내 작업을 모니터링하는 측정 장치, 밸브 및 데이터 스토리지 시스템도 포함됩니다. 전원 공급 장치 (power supply) 는 원자로의 다양한 부품을 작동시키는 데 필요한 전력을 제공합니다. 증착 챔버 (deposition chamber) 에서 일정한 온도를 유지하기 위해 조정 가능한 전압 및 주파수로 교류 전류를 공급하도록 설계되었습니다. 증착실은 압력 및 비활성 대기 제어 환경으로, 통제 된 화학 반응이 일어날 수 있습니다. 반응물 의 "가스 '가 빠져나가는 것 을 막기 위해 동봉 되어 있으며, 또한 대기 의 변화 로부터 반응물 을 보호 한다. 웨이퍼 처리 공정 (wafer-handling process) 은 증착실에 배치될 웨이퍼를 준비하는 데 사용됩니다. 그것 은 "웨이퍼 '를 방 으로 이동 시키고 그것 을 벗어나게 하는 팔 을 포함 한다. 암에는 위치 지정 시스템 (positioning system) 과 증착의 균일성을 보장하기 위해 필요한 정확한 온도 제어 (temperate control) 가 있습니다. AMAT 센츄라 MCVD (Centura MCVD) 원자로에는 마이크로 일렉트로닉 산업에서 다양한 프로세스를 수행하는 데 적합한 다양한 기능이 있습니다. 또한 서비스 수명이 길다. 신뢰성, 유연성, 사용 편의성을 통해 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 업계의 전문가들에게 선호되는 선택입니다.