판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293829876

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPS (Integrated Process System) 는 반도체 제조에 사용하기 위해 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터 시스템입니다. 단일 실행 (Single run) 으로 여러 층의 재료를 기판에 동시에 배치 할 수있는 완전 통합 플랫폼 (Fully Integrated Platform) 입니다. IPS는 안정적이고 정확한 증착을 위해 사용하기 쉬운 플랫폼을 제공합니다. IPS의 가장 독특한 기능은 특허받은 스퍼터 에치 기술입니다. 이 기술을 통해 레이어 증착 (layer deposition) 및 에치 클리닝 (etch-cleaning) 을 한 단계로 수행하여 생산 시간을 줄이고 효율성을 높일 수 있습니다. 이렇게 하면 처리량이 향상되고 수익률이 증가합니다. 또한, IPS는 초저-k 유전체에 중요한 구리-은-금 (copper-silver-gold) 과 같은 복잡한 층 구조를 만들 수 있습니다. 또한 IPS에는 다양한 고급 프로세스 제어 기능이 있습니다. CLRPC (Closed Loop RF Power Control) 는 각 목표와 정확한 자기장 제어에 대해 정밀한 전력 수준 제어를 가능하게하여 증착율, 에치 속도 및 이온화 된 반응성 종 형성 사이의 패리티를 유지할 수 있습니다. 이는 제어되지 않은 변형을 줄이고, 더 높은 수준의 제품 무결성과 반복성을 유지합니다. 또한 IPS 는 레시피 (Recipe) 제어 프로세스 조건을 제공하여 상당한 비용 절감 및 확장성을 제공하는 신속한 전환 (Changeover) 기능을 제공합니다. 자동화 및 통합 레시피는 프로세스를 더욱 간소화하고 프로세스 시간 (process time) 과 고장 (scrap) 을 줄입니다. 또한 IDP 드라이브는 수동 개입 없이 여러 기술을 전송, 정렬, 포지셔닝할 수 있습니다. AMAT Centura IPS는 내장된 고급 프로세스 제어 기능, 자동화된 프로세스 대기 제어 기능, 향상된 데이터 획득/처리 기능 등 복잡한 박막 구조를 안정적으로 배치할 수 있는 일체형 툴입니다. IPS 는 빠른 설정 변경과 주기 시간을 보장하며, 가장 원활한 wafer-to-wafer 프로세스 제어를 제공합니다. 이를 통해 반도체 제조에서 초저전압 (ultra-low-k dielectric) 및 기타 부품 재료의 증착에 이상적인 솔루션이되었습니다.