판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293761026

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPS는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 혁신적인 유형의 원자로입니다. IPS는 Epsilon 02-3 Fusion ™ 가스 전달 및 통합 웨이퍼 가열과 정밀 반도체 제조를위한 공정 제어 및 자동화 플랫폼을 결합한 단일 웨이퍼 장비입니다. IPS는 다양한 고성능 프로세스 (HPC) 를 위해 함께 작동하는 여러 개의 개별 구성 요소로 구성되어 있습니다. IPS의 주요 구성 요소는 400 MegaWatt RF 발전기가 장착 된 밀폐 된 열실로, 빠른 온도 및 압력 호가 가능합니다. 이 열실 내부에는 독점 가스 입구 및 콘센트 (outlet) 포트를 특별히 설계 한 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 있습니다. 이것은 또한 순도, 저저저항 대기 환경을 만드는 데 도움이되며, 고성능 반도체 재료의 처리에 이상적입니다. 또한 IPS는 가스 분사 포트폴리오, 핫 와이어 난방, 자동 광학 감지 기능을 갖춘 고성능 Endura IX + 기반 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 처리 속도가 빨라지고 프로세스 제어가 향상됩니다. 이온 임플란테이션의 균일성을 촉진하기 위해 다양한 정밀 포지셔닝 단계가 포함됩니다. IPS는 PLC 기반 자동화 장치 (automation unit) 에 의해 구동되며, 프로세스에 대한 미세 제어, 레시피 프로그래밍의 유연성, 프로세스를 실시간으로 모니터링 및 조정할 수 있습니다. 또한, IPS에는 다양한 도량형 (metrology) 도구가 장착되어 있어 프로세스의 진행 상황을 모니터링하고 다양한 교정 작업을 처리할 수 있습니다. AMAT 센츄라 IPS (Centura IPS) 는 다양한 재료를 처리하는 능력 외에도, 높은 안전 표준에 맞게 설계된 효율적인 사용자 친화적 인 기계입니다. 이 제품은 프로세스 성능을 향상시키고, 제품 품질을 향상시키며, 탁월한 수준의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다.