판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #9247556

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax 원자로는 소규모 박막 구조의 생산을위한 차세대 증착 도구입니다. 반도체 장치 제작 및 재료 분석을 위해 설계되었습니다. 이 도구는 고온 및 압력 기능을 갖춘 최첨단 프로세스 챔버를 갖추고 있습니다. 최대 20 nm 의 정확성과 정밀도로 높은 수준의 증착 프로세스 성능을 제공합니다. AMAT Centura II eMax에는 자동 단일 웨이퍼 및 이중 웨이퍼 (완전한 웨이퍼 ArF) 로드 장비가 장착되어 있습니다. 구성 요소 웨이퍼는 고성능 페달 침대에 빠르게 장착됩니다. 웨이퍼 베드 (wafer bed) 는 회전하고 자력으로 구동되는 모서리 플랜지를 기준으로 잠그고 증착실로 이동합니다. 열 성능 및 안정성 향상을위한 고급 서셉터 서스펜션 (advanced susceptor suspension) 과 전자 사이클로트론 공명 (electron cyclotron resonance) 과 같은 고급 증착 기술이 특징입니다. APPLIED MATERIALS Centura II eMax에는 광범위한 프로세스 제어 시스템도 있습니다. 여기에는 압력과 온도를 제어하기위한 통합 시스템, 내장 질량 분석기로 활성 플라즈마 모니터링 (active plasma monitoring) 이 포함됩니다. 이 장치에는 웨이퍼 전체에 균일 한 증착을 보장하기 위해 증착실 벽을위한 멀티 그라운드 추적 모니터링 머신 (multi-ground tracing monitoring machine) 이 포함되어 있습니다. Centura II eMax 원자로에는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 여러 개의 안전 차단 센서, 자동 압력 및 온도 경보, 통합 접지 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 완벽하게 자동화된 wafer cleaning 프로세스를 통해 일관된 디바이스 성능을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax는 소규모 생산을 위한 안정적이고 비용 효율적인 증착 도구입니다. 반도체 소자 제조, 반도체 재료 연구 및 복잡한 구조의 박막 증착에 이상적입니다. 공구는 공정 최적화 (Process Optimization) 를 위한 고성능 및 정확성, 그리고 정밀 증착을 위한 다양한 프로세스 제어 옵션으로 제공됩니다.