판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #293697178

ID: 293697178
System Orient chamber VHP Robot Loadlock type: Widebody EPD Controller (Hot pack) (3) eMax Chambers ENI OEM 28B Generator STP H1603 Turbo pump V452 SBC System controller Primary / secondary rack No MFC.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax는 반도체 제조에 사용되는 최첨단 원자로 장비입니다. 이 시스템은 전원 장치 제작을 위해 설계되었으며, 모스펫 (MOSFET), IGBT 생산 등 까다로운 프로세스에서 매우 효율적인 성능을 제공합니다. CVD (Chemical Vapor Deposition) 기술의 장점과 다용도 및 강력한 솔루션에 대한 고급 도구, 기능, 제어 기능을 결합합니다. AMAT Centura II eMax는 완전 통합 모듈식 프로세스 챔버 및 웨이퍼 전송 모듈을 갖추고 있습니다. 또한 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 개별 애플리케이션에 필요한 처리 매개변수를 제어하고 조정할 수 있습니다. 이 장치는 최대 8 "크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 처리량이 높고 유지 보수가 적습니다. 또한 모니터링 데이터 (monitor data) 를 기반으로 실시간으로 프로세스 레시피를 조정할 수 있는 통합 알고리즘이 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura II eMax는 낮은 소음을 제공하면서 효율적이고 안정적인 작동을 위해 설계된 직접 드라이브 진공 펌프를 사용합니다. 이 "펌프 '는 어려운 환경 에서도 신뢰 할 만하며, 다른 부품 에 대한 마모 와 눈물 을 줄이는 데 도움 이 된다. 또한 주파수 제어 가스 라인을 사용하여 정확하고 정확한 프로세스 제어를 할 수 있습니다. Centura II eMax 시스템은 다양한 애플리케이션에 적합하며 사용자 지정 기능이 뛰어납니다. 수소, 질소, 이소 프로필 알코올, 육불화 황, 실란, 질소-이브로마이드 및 아르곤을 포함한 다양한 가스와 호환됩니다. 또한 광범위한 온도, 진공 농도 및 압력을 지원합니다. 이 도구는 배치 프로세스와 연속 프로세스를 모두 지원하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMax는 전원 장치를 생산하기 위한 안정적이고 강력한 자산입니다. 운영 비용을 절감하면서 주기 (cycle) 시간과 생산량을 단축할 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품은 까다로운 구성 환경에서 효율적이고 효과적인 운영을 위해 탁월한 프로세스 제어와 사용이 간편한 기능을 제공합니다 (영문).
아직 리뷰가 없습니다