판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #9182836

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactor는 인화 인듐 (INP) 및 합금과 같은 III-V 재료를 퇴적시키기 위해 설계된 가변 압력 에피 택시 (VPE) 챔버입니다. 온도 범위가 70 ° C ~ 3000 ° C인 "뜨거운 중성 차가운" 소스를 특징으로하여 고온 및 저온 증착 기술 모두에 적합합니다. 원자로는 또한 고급 자동 웨이퍼 교환 장비를 갖추고 있으며, 웨이퍼를 적재하고 바람을 내립니다. 최대 감수기 크기가 200mm 인 경우, 광범위한 패턴을 가진 복잡한 구조를 배치하는 데 사용할 수 있습니다. 챔버 자체는 21 "x26" x25 "이며 최대 작동 압력은 3 Torr 범위입니다. 또한 최대 100W의 질화물 증착을위한 플라즈마 발전기가 포함되어 있습니다. 첨단 "가스 '혼합 장치 는" 가스' 소비량 을 정밀 히 조절 하여 물질 도펀트 '농도 를 매우 정확 하게 조절 할 수 있게 해 준다. 이 장치에는 편리한 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 매개변수 설정이 쉽고, 터치 스크린 디스플레이가 있는 온보드 컴퓨터 (Onboard Computer) 가 있어 현재 상태를 확인하고 레시피를 저장할 수 있습니다. 증착을 위해 AMAT Centura II DPS 원자로는 액체 또는 증기 전달 기계를 사용할 수 있습니다. 액체 전달 도구는 계량 에셋 및 온도 컨트롤러를 사용하여 재료 흐름을 정확하게 제어합니다. 증기 전달 (vapor delivery) 모델은 가열된 배달선 및 펌프를 특징으로하여 재료를 원하는 온도로 유지합니다. APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactor는 또한 우발적 압력 스파이크 및 내장 화재 억제 시스템 전에 챔버를 대피하기위한 빠른 릴리스 장비를 포함한 고급 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 시스템의 조합으로 Centura II DPS Reactor는 복잡한 증착 작업에 적합한 선택입니다.