판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #293792207
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ID: 293792207
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Metal etcher, 8"
SNMF Wafer
ESC Chuck
VHP+ Robot
Wide body load lock
STP-1300 Turbo pump
Controller rack
Foreline Valve
ISO Valve
Seriplex gas box
(2) DPS Chambers
(2) ASP Chambers
2001 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS는 고급 기술 처리를 위한 최적의 성능, 안정성 및 안정성을 제공하도록 설계된 고효율의 단일 웨이퍼 다이오드 처리 원자로입니다. 원자로는 직경이 510mm 인 대형 활성 챔버 (Active Chamber) 를 가지며 박막 증착, 에칭 및 어닐링 (Annealing) 과 같은 광범위한 처리 용도에 적합합니다. 반응성 "가스 '배달 장비 는 약실 에 주입 된 원소 의 압력 과 흐름 을 정확 히 제어 해 주며, 그 로 인해" 가스' 압력, 흐름, 퍼지 '시간 과 같은 "파라미터' 를 조정 할 수 있다. 원자로는 고효율 RF 플라즈마 소스와 RF 소스 격리 트랜스듀서 (RF source isolation transducer) 를 특징으로하며 플라즈마의 강도와 균일성을 제어하는 데 사용될 수있다. 또한 AMAT Centura II DPS에는 챔버 압력 및 진공의 정확한 제어를 위해 종합적이고 프로그래밍 가능한 진공 컨트롤러가 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura II DPS에는 증가율 추적, 균일성 매핑, 프로세스 매개변수 제어, 사용자에게 시스템을 완벽하게 제어하는 포괄적인 진단 패키지 등 여러 강력한 소프트웨어 모니터링 툴이 포함되어 있습니다. 또한 센츄라 II DPS (Centura II DPS) 에는 오류 처리 장치 (Error Handling Unit) 가 장착되어 있어 컴퓨터의 장애를 쉽게 식별하고 해결하여 처리 작업을 원활하게 실행할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS는 엄격한 조건에서 엄격한 테스트를 거쳤으며, 안정성을 극대화하는 매우 견고한 설계를 갖추고 있습니다. 이 툴은 에너지 효율성이 높으며, 최소한의 유지 보수가 필요하며, 대용량 생산을 위해 탁월한 생산성과 효율성을 제공할 수 있습니다. 또한, 원자로는 가장 까다로운 처리 실행에서도 뛰어난 균일성을 제공합니다. 요약하자면, AMAT Centura II DPS는 뛰어난 신뢰성 및 제어, 뛰어난 결과의 균일성, 뛰어난 에너지 효율성을 제공하는 고효율의 단일 웨이퍼 다이오드 원자로입니다. 이 원자로는 기술 처리 (technical processing) 애플리케이션에 이상적인 선택이며 대용량 생산에 이상적인 플랫폼을 제공합니다.
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