판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I DPS+ #159104
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판매
ID: 159104
Poly etcher, 8"
Chamber Type
CH.A DPS Poly
CH.B DPS Poly
CH.C DPS Poly
CH.D
CH.E
CH.F Oriental
Robot type: HP
Process kit: 200MM JMF Process Kit
Chuck Type: C-ESC
Loadlock: Heated narrow body
Turbo Pump: SEIKO SEIKI STP-A2203PV )
RF Generator:
Source: AE RF5S
Bias: RFPP RF5S
RF Match: Match (P/N 0010-36408)
EPD: Monochrometer
Computer: CRT Monitor 3ea
Gas:
Gas panel: Seliplex gas panel
MFC: Aera FC-D980C
Gas Configuration:
Chamber A Chamber B Chamber C
Gas Size Gas Size Gas Size
Line 1 Cl2 50 Cl2 50 Cl2 50
Line 2 Cl2 200 Cl2 200 Cl2 200
Line 3 HBr 200 HBr 200 HBr 200
Line 4 O2 10 O2 10 O2 10
Line 5 O2 500 O2 500 O2 500
Line 6 N2 10 N2 10 N2 10
Line 7 CF4 100 CF4 100 CF4 100
Line 8 SF6 50 SF6 50 SF6 50
Line 9 Ar 200 Ar 200 Ar 200
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I DPS + Reactor는 올인원 시설에서 고품질 반도체 증착 및 에칭 솔루션을 제공하기 위해 설계된 혁신적인 장치입니다. 이 장비는 매우 정확하고 정확한 필름 증착 및 에칭 (etching) 프로세스를 통해 사용자가 업계에서 가장 높은 품질의 반도체를 생산할 수 있습니다. AMAT Centura I DPS + Reactor는 정밀한 온도 및 압력 모니터링, 동적 웨이퍼 조작, 식각 및 증착을위한 풍부한 플라즈마 소스 (plasma source) 를 포함한 고급 기술을 통합 한 업계 최고의 플랫폼을 갖춘 자동 시스템입니다. 원자로 (reactor) 는 다양한 반응을 수용하도록 쉽게 구성 될 수 있으며, 이는 반도체 업계의 많은 사용자에게 유익합니다. APPLIED MATERIALS Centura I DPS + Reactor는 사용자가 놀라운 수준의 정확성을 달성 할 수있는 고급 가스 전달 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 강착 및 에칭 조건을 능동적으로 제어하여 온도, 압력, 셀 매개변수를 정확하게 제어합니다. 이 장치는 또한 에칭 및 증착을위한 효과적인 플라즈마 소스 (plasma source) 를 사용하여 반응 및 증착률을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 도구는 유연한 웨이퍼 조작을 통합하여 레이저 제거 (laser ablation), 모서리 경사 처리 (edge bevel processing), 적합성 테스트 (conformance testing) 등과 같은 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 원자로의 고급 광학 및 자동화 기능은 가스 전달 및 플라즈마 소스 기능 (plasma source function) 을 훨씬 뛰어넘습니다. Centura I DPS + Reactor 는 자동화된 레시피 최적화, 통합 용광로 수준 제어, 완벽한 원격 웹 기반 액세스 등의 기능을 통해 놀라운 자동화 수준을 제공합니다. 센츄라 네트워크 (Centura Network) 를 원자로 (reactor) 와 통합한 덕분에 사용자는 강력한 프로세스 분석 및 자동화 기능을 활용할 수 있습니다. 이 통합을 통해 데이터 수집 및 분석 (Precision Data Collection and Analysis) 기능을 통해 사용자가 바람직하지 않은 추세를 파악하고 최적화하여 프로세스 결과를 향상시킬 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I DPS + Reactor는 다양한 반도체 제작 프로세스에 쉽게 통합 될 수있는 고도의 반응성 증착 및 에칭 자산입니다. 고도로 자동화되고 정확한 모델 컴포넌트 덕분에 이 원자로 (Reactor) 사용자들은 일관된 결과를 얻을 수 있고 제조 주기 (Manufacturing Cycle) 를 단축하고 품질을 높일 수 있습니다. AMAT Centura I DPS + Reactor (AMAT Centura I DPS + Reactor) 는 탁월한 성능을 제공하는 고급 플랫폼을 제공하는 뛰어난 반도체 제작 엔지니어에게 이상적인 선택입니다.
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