판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HT #9206303

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HT는 다양한 II-V 및 III-V 재료에 높은 처리량을 제공하도록 설계된 완전 자동화 원자로 장비입니다. AMAT Centura HT는 처리 챔버, 기본 유닛, 진공 챔버, 로드 록 및 컨트롤러를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 가공 챔버는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 주로 고온 기판 처리에 사용됩니다. 여기에는 가스 전달 시스템, 난방 요소 및 온도 조절 장치 (temperature control unit) 가 장착되어 있습니다. 공정 결과 (process result) 를 볼 수 있는 큰 창과 쉽게 흐름 및 압력을 제어할 수 있는 가스 관리 머신 (gas management machine) 이 있습니다. 기본 장치 에는 "컨트롤러 '및 전원 공급 장치 와 같은 모든 전기 부품 과 여러 가지" 가스' 입구 와 "콘센트 '가 들어 있다. 또한 진공실 및 로드 락에 대한 연결을 제공합니다. 이 장치는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 에 의해 제어되며, 사용자는 특정 프로세스에 필요한 매개변수를 선택할 수 있습니다. 또한 안전 연동도 포함됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 원자로 상단에 있으며 격리 챔버로 사용됩니다. 그것 은 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며 대기 오염 물질 이" 챔버' 에 들어오는 것 을 최소화 하는 특별 한 설계 를 가지고 있다. 또한 가스 관리 도구 (gas management tool) 가 있으며 챔버의 압력을 조절하는 데 도움이되는 압력 조절기 (pressure regulator) 가 포함되어 있습니다. 로드록 (loadlock) 은 웨이퍼가 배치되는 원자로의 진입점입니다. 그것 은 "폴리카보네이트 '로 만들어졌으며 공정" 챔버' 의 오염 을 방지 하기 위하여 안전 한 문 을 제공 한다. 적재물에는 오염을 줄이기 위해 비활성 가스 대기가 장착되어 있습니다. 컨트롤러는 전체 자산을 관리하고 제어하는 곳입니다. 기본 장치 (base unit) 내에 있으며 용광로 작동을 담당합니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 프로세스의 다양한 매개변수를 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura HT는 높은 처리량 II-V 및 III-V 재료 처리를 위한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 이 제품은 다양한 기능을 갖추고 있어 품질이 저조한 시간이 소요됩니다 (영문). 그 결과, 이 원자로 모델은 연구와 산업 환경 모두에서 응용에 적합합니다.