판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9249365

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP (High-Density Plasma) 원자로는 높은 처리량으로 높은 생산량을 제공하도록 설계된 완전한 에치 솔루션입니다. 이 고급 원자로는 III-V, 실리콘 게르마늄, 그룹 III-B 금속 및 질화물, 기타 화합물 등의 광범위한 재료를 처리 할 수 있습니다. 전체 etch 주기의 시간을 줄이기 위해 최적화된 source-drain-etch 프로세스로 구성됩니다. AMAT Centura HDP에는 스위칭 주파수가 높은 DC RF 전원 공급 장치와 향상된 etch 균일성을 위한 MC-Plasma 소스가 장착되어 있습니다. DC 전원 공급 장치는 또한 더 높은 에치 속도 및 프로세스 균일성을 달성하는 데 도움이됩니다. 또한 APPLIED MATERIALS Centura HDP는 정밀 플라즈마 에치 사이클로 더 높은 수준의 정확성을 달성 할 수 있습니다. MC-Plasma의 2-주파수, 2-상 튜닝 구성은 etch 시간을 줄이고 높은 수준의 균일성을 보장합니다. 센츄라 HDP (Centura HDP) 는 높은 정확도 에칭 결과를 내기 위해 플라즈마 밀도를 조절하고 안정화하도록 설계된 다중 주파수 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 또한 고급 폐쇄 루프 (closed-loop) 수평 웨이퍼 전송 장비를 제공하여 높은 프로세스 균일성을 보장합니다. 스테인리스 스틸 쿼츠 챔버는 챔버 표면을 보호하고 가동 시간을 유지하는 데 도움이됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP는 유지 보수가 적고 신뢰성이 뛰어납니다. 내장 도량형 도구는 에치 라인의 마이크로 러니 (micro-roughness) 를 측정하여 가장 정확한 에칭이 가능합니다. 또한, 시스템은 에칭 (etching) 프로세스를 완벽하게 제어하기 위해 여러 가지 처리 레시피를 포함합니다. 이 장치에는 빠른 설치, 능률적인 작업, 빠른 etch 매개변수 변경을 위한 단순화된 밸브 제어 (valve control) 가 가능한 GUI 기반 제어 인터페이스도 함께 제공됩니다. 전반적으로 AMAT Centura HDP는 고밀도 플라즈마 소스, 다중 주파수 플라즈마 소스, 폐쇄 루프 수평 웨이퍼 운송 기계, 스테인리스 스틸 쿼츠 챔버 (stainless steel quartz chamber) 를 갖춘 뛰어난 공정 기능을 제공하는 고급 에치 원자로입니다. 생산량을 늘리고 전체 에치 사이클 (etch cycle) 의 시간을 줄이는 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 또한 포괄적인 GUI 기반 제어 인터페이스 및 처리 레시피 (레시피) 를 통해 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다.