판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Gigafill #9222476

ID: 9222476
System Not included: Process kit Heater Induction valve LFM.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill은 증착 및 에칭 공정과 같은 반도체 제조 응용을 위해 설계된 화학 원자로입니다. 원자로는 대구경 반응 챔버 (large-diameter reaction chamber) 를 사용하여 다양한 기판을 수용하면서 효율적인 열 관리를 허용합니다. 반응 표면에 기판을 균일하게 배치하여 필름 균일성 (film unifority) 을 향상시키는 중심 포스트 (center post) 와 같은 특허 된 혁신이 특징입니다. 또한, AMAT Centura Gigafill은 균일 한 온도 분포를 위해 빠른 공기 흐름을 가능하게하는 반응 챔버 배기 장비를 제공합니다. 이 고급 원자로시스템 (Advanced Reactor System) 에는 프로세스 성능에 대한 실시간 피드백을 제공하는 통합 진단 기능이 포함되어 있어 프로세스 최적화가 용이합니다. 그것은 고품질 공정 안정성과 신뢰할 수있는 필름 증착을 보장하기 위해 특수 원자로 타일 재료를 통합합니다. 또한 프로세스 모니터링, 제어, 동기화 (Synchronization) 기능을 통해 원자로 상태를 정확하게 조정하여 성능을 최적화할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS 센츄라 기가 필 (Centura Gigafill) 의 모듈식 설계로 서비스 및 유지 보수가 쉽고, 가동 시간을 최대화하여 입자 빌드를 줄이기 위해 설계된 자동 클리닝 머신을 제공합니다. 센츄라 기가필 (Centura Gigafill) 은 자동 진단 기능과 최신 상태 정보와 보고서를 제공하는 실시간 출력을 갖춘 완벽한 통합 제어 플랫폼을 갖추고 있습니다. 여기에는 원자로 환경을 정확하게 제어 할 수있는 고급 절차 및 등록 제어 (Procedural and Registration Control) 옵션도 포함됩니다. 따라서, 사용자는 가장 복잡한 처리 레시피와 조건까지 실행할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill의 유연성을 통해 사용자는 다운타임을 최소화하면서 다양한 프로세스 레시피 사이를 전환할 수 있습니다. AMAT Centura Gigafill은 반도체 제조에 사용하기 위해 안정적이고 비용 효율적인 원자로 공구로 설계되었습니다. 원자로 제어, 모니터링, 동기화 (Synchronization) 기능이 향상되어, 균일성과 공정 안정성이 향상된 고품질 필름을 제작할 수 있습니다. 공정을 최적화하고 생산속도를 높이고자 하는 연구자와 기술자들에게 이상적인 원자로 (reactor) 다.
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