판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Gigafill #9093322

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Gigafill
ID: 9093322
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
SACVD BPSG System, 8", 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill은 고성능, 품질이 뛰어난 박막 회로를 생산하도록 설계된 첨단 원자로입니다. 이 원자로는 최대 6 인치 웨이퍼를 생산하기 위해 제작되었으며, 정밀도 및 제어 강화를위한 저압 화학 증기 증착 (LPCVD) 을 제공하는 고출력, 고주파 플라즈마 발전기가 장착되어 있습니다. AMAT Centura Gigafill은 주로 반도체 및 기타 박막 장치 제작에 사용됩니다. 그것 은 "로우렌스 '내 의 온도 를 엄밀 히 유지 하는" 스마트' 온도 조절 장치 를 갖추고 있는데, 이것 은 균일 한 증착 두께 를 달성 하는 데 필수적 이다. 원자로에는 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 운영자가 시스템 설정을 신속하게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 센츄라 기가 필 (Centura Gigafill) 에는 패트리클의 존재를 감지하는 고급 광학 방출 모니터와 정밀한 가스 전달을위한 고온, 고압 가스 혼합 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 빠른 램프 속도와 긴 노출 시간 모두에 사용할 수 있습니다. 또한, 원자로에는 과충전 (overcharging) 과 과압 (overpressure) 으로 인한 사고 및 유출 방지를 돕는 고급 안전 도구가 포함되어 있습니다. 운영에서 Centura Gigafill은 실란 가스, tungsten hexafluoride 및 tetrachloride와 같은 전구체 가스를 사용합니다. 또한 확산 반응물 (diffusion reactant) 과 산화 가스 (oxidation gas) 를 사용하여 높은 양과 빠른 속도로 에피 택시 층을 만들 수 있습니다. 원자로 에서 생성 된 원심력 은 반응물 "가스 '와 상호 작용 하여 여러 가지 두께 로 균일 한 층층 의 물질 을 형성 하는 데 도움 이 된다. 이는 고품질 박막 회로를 생성합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Gigafill 원자로는 통신, 항공 우주, 자동차 및 의료에 이르기까지 다양한 산업을위한 제품을 만드는 데 적합합니다. 원자로 (Reactor) 는 완전 밀폐 된 설계 및 조절 가능한 가스 처리 시스템으로 가장 높은 청결 사양을 충족시킵니다. 또한, 이 자산은 최소한의 유지 관리 (maintenance) 를 필요로 하며, 제조업체가 안정성과 신뢰성을 갖춘 제품을 생산할 수 있도록 합니다.
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