판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epsilon / 0010-42572 #9199307

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epsilon/0010-42572는 갈륨 비소 (GaAs) 및 인듐 (InP) 과 같은 화합물 반도체 물질에 UV 처리를 제공하도록 설계된 단일 웨이퍼 원자로입니다. 이 장비는 특허를받은 듀얼 스테이지 난방 시스템 (Dual-Stage Heating System) 을 갖추고 있어 높은 반복성을 갖춘 정확한 온도 조절을 제공합니다. 3 개의 UV 소스를위한 독립적 인 매니 폴드가 장착되어 있습니다. 금속 할라이드, 다이오드 및 레이저. 각 소스는 개별적으로 제어되고 고수율 처리에 최적화될 수 있습니다. 이 장치에는 공랭식 고주파 (high-frequency) 전원이 장착되어 있어 반사력이 낮고 전력 안정성이 뛰어납니다. 그것은 피로미터 제어, 닫힌 루프 퍼니스 및 플랫폼 온도로 구성된 온도 조절 구조를 포함합니다. 또한이 기계에는 저진동 웨이퍼 플랫폼 (low-vbration wafer platform) 과 온도 교환기 (temperature exchanger) 가 포함되어 웨이퍼 전체에 균일 한 온도를 보장합니다. Centura Epsilon은 매우 유연하고 사용자 친화적입니다. 다양한 wafer 크기를 지원하며 다양한 UV 처리 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 또한 표준 인터페이스 (Standard Interface) 를 통해 사용자가 기존 처리 환경에 통합할 수 있습니다. 또한 옵션으로 제공되는 로드 포트를 사용하여 웨이퍼를 자동으로 로드 및 언로드할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Centura Epsilon/0010-42572는 복합 반도체 재료에서 UV 처리를 수행하도록 설계된 고급 고성능 단일 웨이퍼 원자로입니다. 정밀 온도 조절 및 튜닝 (tuning) 과 함께 유연한 제어 매개변수를 제공하여 강력하고 반복 가능한 성능을 제공합니다.