판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9282867

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi는 기판 표면에서 얇은 필름 및 재료 층을 성장시키기 위해 화학 증기 증착 (CVD) 프로세스를 사용하는 원자로 유형입니다. 원자로는 주로 유전체 및 금속 박막 (thin film) 의 퇴적에 반도체 및 전자 산업에서 사용된다. 원자로 (reactor) 는 매우 정밀하고 반복성이 높은 처리량 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. AMAT 센츄라 에피 (Centura Epi) 원자로는 높이 조절 식 정전기 척 받침대를 사용하여 설계되어 다양한 기판 크기와 구성을 사용할 수 있습니다. 기판 난방 및 냉각을위한 통합 설비 (integrated facility for substrate heating and cooling) 도 반복 가능한 프로세스를 보장하기 위해 제공되며, 냉장 가스 옵션 (옵션) 은 챔버의 정확한 온도 조절을 보장합니다. 또 다른 특징은 석영으로 된 피렉스 증착 챔버 (pyrex deposition chamber) 로, 기판 및 박막 오염을 최소화합니다. 원자로에는 열 컨덕턴스 센서 (thermal conductance sensor) 및 커패시턴스 모니터 (capacitance monitor) 를 포함한 여러 내부 모니터링 장치가 장착되어 있어 증착 과정에서 연속적이고 정확한 현장 데이터를 제공합니다. 조절 가능한 반응성 원자 플럭스 모니터 (Reactive Atomic Flux Monitor) 는 박막 비응축 종을 최적화하는 데 도움이되며, 광밀도 검출 시스템을 통해 박막 접착 및 두께를 평가할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura Epi 원자로는 내장 Epicenter 플랫폼을 통해 높은 수준의 프로세스 자동화를 제공합니다. 에피 센터 (Epicenter) 는 강력한 통합 프로세스 제어 시스템으로, 배치 프로세스를 원격으로 모니터링하고 레시피 및 프로세스 매개변수를 중앙 집중식으로 제어할 수 있습니다. 이 플랫폼은 또한 효율적인 레시피 관리, 고급 진단을 통해 프로세스 반복성 및 신뢰성을 향상시킵니다. 센츄라 에피 (Centura Epi) 는 반도체 제작 및 전자 부품 (Electronics Assembly) 에서 고급 박막 증착에 이르는 응용 분야에 이상적인 다재다능하고 신뢰할 수있는 원자로입니다. "정밀도, 자동화, 모듈성 '의 조합으로 반도체· 전자산업의 대용량 생산· 연구에는 탁월한 선택이다.