판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9229958

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi 원자로는 박막 반도체의 에피 택시 성장을위한 다재다능한 차세대 PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기계입니다. 이 장비는 까다로운 반도체 장치 어플리케이션을 충족할 수 있도록 최적의 균일성 (unifority), 고출력 (high-throughput) 및 고급 프로세스 기능을 제공하도록 최적화되었습니다. AMAT Centura Epi는 박막 반도체 재료의 품질 증착을 위해 PECVD 및 Edge 등급 PECVD (EG-PECVD) 프로세스를 모두 통합 한 2 구역 아키텍처를 사용합니다. 이 시스템은 스플릿-인터랙티브 챔버 (split-interactive chamber) 설계를 통해 효율적인 증기 수송 및 웨이퍼 서피스로의 재료 배치를 보장합니다. 이것은 챔버의 저압 연산 (low-pressure operation) 과 함께 응력 수준이 낮고 비균일성이 최소화 된 반복 가능한 결과를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura Epi는 실리콘, 실리콘-게르마늄 및 복잡한 III-V 화합물을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 원자로는 다이오드 간극 채우기, 이온 이식, 전극 증착과 같은 공정을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 최신 반도체 장치 어플리케이션에 필요한 높은 순도, 균일성, 고급 (advanced) 프로세스 기능을 제공하도록 설계되었습니다. Centura Epi 원자로는 여러 회사 간의 다양한 협력에 적합합니다. 높은 수준의 전문화 (Specialization) 와 유연성 (Flexibility) 을 제공하여 광범위한 사용자가 대규모 운영을 위해 고유한 프로세스를 구축할 수 있습니다. 또한 사용자는 프로세스 매개변수를 완전히 사용자정의할 수 있습니다. 마지막으로, 이 시스템에는 프로세스 성능을 모니터링하고 일관된 제품 품질을 보장하는 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control Systems) 이 제공됩니다. 또한 상세한 실시간 프로파일 측정, 온도 매핑 등 다양한 통합 진단 기능을 제공합니다. 이는 생산 프로세스를 간소화하고 생산성을 향상시키는 데 도움이됩니다.