판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9211674

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi 원자로는 양질의 동종 박막 (Thin Film) 을 생산 규모로 생산할 수 있는 맞춤형 맞춤형 에피 택시 성장 도구입니다. 이 도구는 IC (Integrated Circuit) 제조업체를 위해 특별히 설계되었으며, 웨이퍼-웨이퍼 및 각 웨이퍼 내에서 정확하고 정확한 필름 두께와 균일성을 제공합니다. 이 도구의 주요 목적은 장치 성능 및 제조 능력 향상을 위해 더 나은 기판을 만드는 것입니다 (영문). AMAT Centura Epi 원자로는 반도체 기판에서 고품질의 박막 층을 성장시키는 진화 과정입니다. 고밀도 플라즈마 소스와 단일 웨이퍼 시스템이있는 이중 기판 증착 챔버가 특징입니다. 이 도구는 450mm 및 300mm 웨이퍼에서 작동 할 수 있으며, 그 어느 때보 다 높은 처리량을 달성 할 수 있기 때문에 epi 성장에 혁명을 일으켰습니다. 이 챔버에는 디지털 컨트롤러와 비디오 모니터가 장착되어 있어 프로세스 결과를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다 (영문). 이 원자로는 RF 및 DC 바이어스 소스를 포함한 여러 최상위 소스를 특징으로하며, 각 증착주기 사이의 온도와 압력을 자동으로 조정할 수 있습니다. 또한 특허를받은 기판 홀더 (substrate holder) 디자인이 포함되어 일관된 필름 두께와 구성을 제공하는 부드럽고 균일 한 스퍼터링 증착을 용이하게합니다. 또한 APPLIED MATERIALS Centura Epi (APPLIED MATERIALS Centura Epi) 는 웨이퍼 품질에 영향을 줄 수있는 열역학적, 운동 적 매개변수를 정확하게 제어하여 극단적 인 웨이퍼 크기나 어려운 프로세스 조건에서도 강력하고 재현 가능한 고성능 epi 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. Centura Epi는 IC 제작 프로세스를위한 기판에서 박막 레이어를 생산하는 데 이상적입니다. IC (IC) 제조업체의 생산 요구를 충족시키기 위해 손쉽게 구성할 수 있는 혁신적인 디자인과 능력으로, 생산자들이 우수한 기판 성능을 제공할 수 있도록 최신 에피택셜 (epitaxial) 기술을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi는 MOSFET 제작, 저유출 트랜지스터 및 고속 상호 연결을 포함하여 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. IC를 위한 탄력적이고 안정적인 기판을 만드는 효과적인 솔루션을 제공하므로 IC가 고온, 고압 환경에서 작동할 수 있습니다 (영문).