판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9153809

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi는 고급 반도체 장치를 위해 설계된 고성능 저가 에피 택시 원자로입니다. 첨단 전기 전기 (electropolishing) 기술을 활용하여 사용자가 초고주파 (ultra-high-frequency) 및 전원 장치를 생산할 수 있는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. AMAT Centura Epi는 GaAs 및 실리콘 에피 택시 증착 공정, 산화물 증착 및 확산 어닐링 공정에 모두 활용 될 수 있습니다. 스플릿 링 (split-ring) 및 회전 테이블 (swiveling table) 과 여러 개의 가스 입구 및 콘센트 포트를 갖춘 분할 서셉터 설계가 있습니다. 이것은 wafer-to-wafer 산화를 수행하기 위해 산소 농축 옵션을 사용하여 여러 공정의 독립적 인 운영을 허용합니다. APPLIED MATERIALS Centura Epi는 최대 생산성, 고속 유전력 및 이중 마그네트론 헤드 (magnetron head) 를 제공하여 계층 구조의 효율적인 증착을 위해 설계되었습니다. 증착 매개변수를 정확하게 제어하는 고해상도 셔터 어셈블리가 있습니다. 공랭식 (air-cooled) 과 수냉식 (water-cooled) 전극과 공정 요구사항을 수용하는 다양한 챔버 및 코일 부품이 있습니다. 센츄라 에피 (Centura Epi) 원자로는 균일 한 필름 두께를 보장하기 위해 주파수 가열률이 낮은 매우 안정적인 시스템입니다. 컴팩트 한 "디자인 '을 통해 엄밀 한 공간 에 맞출 수 있는 반면, 고급 진공 조종 은 최적화 된 공정 조건 을 제공 한다. 원자로는 또한 고정밀 저항 온도 검출기로 정확한 온도 조절을 특징으로합니다. 이 시스템은 장기 작업 (operation-operation) 에 비해 안정적이며 다양한 처리 조건에서 작동할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi 원자로는 또한 프로세스 복구 및 복잡한 구조의 현장 증착을 통해 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 제품은 우수한 제품 성능과 환경 안정성을 제공하도록 설계되었으며, 고급 반도체 (Advanced Semiconductor) 장치 생산에 이상적인 제품입니다. 이 시스템은 중요한 매개변수를 정확하게 제어할 수 있도록 설계되었으며, 대부분의 고급 반도체 (advanced semiconductor) 프로세스에 탁월한 성능을 제공합니다.