판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9249293

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 원자로는 고성능 분자빔 에피 택시 (MBE) 도구입니다. 탁월한 정확성과 재현성으로, 고품질의 박막 소재의 성장을 촉진할 수 있도록 설계되었습니다. E2 원자로는 특허를받은 FME (Field Modulation Expansion) 구조를 특징으로하며, 기판 사이에 전위를 교대시켜 성장하는 공정의 안정성을 높이기 위해 설계되었습니다. E2 원자로는 또한 부드럽고 재생 가능한 기판 회전을 보장하는 SRC (Substrate Rotation Control) 기술을 갖추고 있으며 8 "및 4" 기판과 호환됩니다. E2 원자로는 최대 온도 범위가 970 ° C이며 MBE 재배 레이어 샘플을 정확하게 감지하고 분석 할 수있는 고정밀 운동 에너지 분석기 (kinetic energy analyzer) 를 제공합니다. 또한, E2 원자로는 빠른 응답 시간으로 최대 1000 ° C 공정 온도까지 확장 된 산화 과정을 허용합니다. E2 원자로는 또한 고급 프로그래밍 가능한 전기 조절 가능 셔터 (electrically adjustable shutter) 를 갖추고 있으며, 시스템에서 사용 가능한 다른 MBE 소스를 전환하는 데 사용할 수 있습니다. 셔터는 또한 성장 과정에서 여러 MBE 소스를 동시에 사용할 수 있습니다. 이를 통해 시스템은 특성이 다른 여러 레이어 (layer) 를 확장하는 데 사용되므로 새로운 고유의 재료 (material) 의 개발을 촉진할 수 있습니다. E2 는 고급 온도커플 (thermocouple) 을 갖춘 고정밀 온도 제어를 제공하여 빠른 응답 시간으로 정확한 온도 제어를 제공합니다. 이 기능은 각 성장 프로세스에 대해 균일하고 반복 가능한 온도 제어를 보장합니다. 또한, 온도 조절 설정을 서로 다른 성장 프로세스를 수용하도록 조정할 수 있습니다. E2 원자로는 또한 분자 빔 에피 택시 (molecular beam epitaxy) 프로세스에 적합한 저압 환경을 제공하기 위해 특별히 설계된 챔버를 갖추고 있습니다. 이 약실은 오염을 최소화하도록 설계되었으며 최대 10 ~ 8 Torr의 기본 압력을 유지할 수 있습니다. 액세스 쉬운 챔버 (chamber) 포트는 사용자가 프로세스 중에 성장 챔버에 액세스할 수 있도록 해줍니다. 결론적으로 AMAT CENTURA ENABLER E2 원자로는 고품질 박막 재료를 확장 및 분석하도록 설계된 고성능 MBE 시스템입니다. 원자로 (Reactor) 는 정확하고 반복 가능한 성장 프로세스와 특성이 다른 여러 계층을 성장시킬 수있는 여러 가지 고급 기술 (advanced technologies) 을 갖추고 있습니다. 고정밀 온도 제어 및 저압 환경은 E2를 분자 빔 epitaxy 응용 분야에 이상적인 도구가됩니다.