판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9139787
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax는 반도체 울트라틴 층 기판의 고품질 처리를 위해 설계된 고성능 원자로입니다. AMAT 센츄라 이맥스 (Centura eMax) 는 기탁된 박막 레이어의 제작과 특성화에서 최고 수준의 균일성과 성능을 보장하는 고급 설계 기능을 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura eMax는 PC 제어 로봇 암 (robotic-arm) 로딩 메커니즘을 사용하여 높은 진공 환경에서 작동하며 여러 반도체 기판을 안전하게 시스템에 적재합니다. 이 시스템은 기판 이동, 가스 흐름 및 선택된 공정 온도를 제어합니다. "로봇 '의 기능 은 섬세 한" 웨이퍼' 를 가장 신뢰 할 만한 처리 를 하며, 물질 을 기판 에 성공적으로 증착 시키기 위한 정확 한 배치 를 가능 케 한다. Centura eMax에는 여러 가지 고급 프로세스도 포함되어 있습니다. Remote Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 프로세스 (ALE Depositing) 를 사용하여 구성할 수 있으며 CVD (Chemical Vapor Deposition) 와 같은 다른 기술과도 호환됩니다. ALE 증착은 기존의 증착 공정과 비교하여 균일성, 반복성 및 향상된 성능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax는 또한 간단한 금속 산화물 레이어에서 복잡한 기판까지 < 100 Angstrom 다중 레이어가 필요한 다양한 영화 스택으로 기판 처리를 전문화 할 수 있습니다. 기본적으로 안전한 AMAT 센츄라 이맥스 (Centura eMax) 설계는 운영자의 개입을 최소화하고 기탁된 재료의 높은 수준의 반복성과 정확성을 제공하는 자동화 기능을 통합합니다. 고급 모니터링 (monitor), 프로세스 제어 (process control) 및 데이터 수집 기능과 결합된 효율적인 레이아웃을 통해 다운타임을 줄이고 운영 효율성을 높일 수 있습니다. 챔버는 손쉬운 유지 보수, 검사 및 오염을 위해 설계되었으며, 통합 안전 기능은 APPLIED MATERIALS Centura eMax를 매우 사용자 친화적으로 만듭니다. Centura eMax는 효율적이고 안정적인 기판 처리를 위한 견고한 고성능 원자로입니다. 첨단 디자인 기능으로 울트라틴 계층 기판 (ultrathin layered substrate) 의 제작 및 특성화에서 최고 수준의 균일성 (unifority) 과 정확성 (accurity) 이 필요한 어플리케이션에 완벽한 선택이 가능합니다. 최고급 반도체 기판의 경우 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax가 이상적인 시스템입니다.
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