판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9390590

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + 는 고급 반도체 및 광전자 장치의 효율적이고 비용 효율적인 생산을 위해 설계된 고성능 반도체 생산 원자로입니다. 원자로는 로드록 암이있는 Epi-Ready 장비입니다. 일괄 처리 (batch) 및 연속 작동 (continuous operation) 모드 모두에서 다양한 원자로 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 원자로는 5-600 Torr의 작동 압력 범위를 사용하며 -17 ° C ~ 752 ° C의 온도에서 작동 할 수 있습니다. 개선 된 프로세스 기능을 위해 독특한 저온 멀티 챔버 디자인이 특징입니다. 또한, 높은 전자 전류 밀도와 전체 웨이퍼 표면에 걸친 전자 빔의 균일성 (unifority) 에 대한 뛰어난 제어를 제공하는 저압장 방출 전자 빔 (low-pression field-emission electron beam) 소스를 제공합니다. AMAT Centura eMax CT + 원자로는 플라즈마 유발 노이즈의 최소한의 간섭으로 더 빠른 아크 턴온 및 우수한 아크 균일성을 보장하는 최첨단 초저소음 모터 드라이브 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 프로세스 제어를 위한 유연성을 제공하는 기능이 풍부한 타이밍 감독자 (timing supervisor) 장치를 갖추고 있습니다. 원자로 (reactor) 는 또한 기질의 기질 변형에 대한 영향을 줄임으로써 높은 공정 균일성 (process uniformity) 과 높은 수준의 공정 반복성을 갖는 개선 된 수율을 제공한다. 원자로 는 고급 산화 조절 장치 (Advanced Oxidation Control Unit) 때문 에 매우 효율적 인데, 이 장치 는 산화 과정 의 효과 를 향상 시켜 주며, 전체적 인 소유 비용 (TCO) 을 줄이는 데 도움 이 된다. 또한, APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + 원자로는 펌핑 속도를 향상시키고 총 소유 비용을 낮추는 강력한 터보 분자 펌핑 머신으로 설계되었습니다. 원자로 는 또한 정교 한 "소프트웨어 '를 갖추었기 때문 에, 운전자 들 이 쉽고 정확 하게 중요 한" 파라미터' 를 감시 하고 제어 할 수 있다. 전반적으로 CENTURA E-MAX CT + 는 견고하고 신뢰할 수있는 반도체 생산 원자로로, 생산 생산량 및 프로세스 균일성을 향상시킵니다. 원자로 (Reactor) 의 첨단 기술 및 기능 통합은 최고의 성능과 비용 효율성을 제공하는 한편, 생산 프로세스 전반에 걸쳐 업계 최고의 표준이 충족되도록 합니다.