판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9384969
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + 는 반도체 장치 제조의 까다로운 요구 사항을 충족시키기 위해 특별히 설계된 CVD (Advanced Chemical Vapor Deposition) 원자로입니다. 이 고성능 툴은 동급 최고의 기술과 최첨단 엔지니어링 (최첨단 엔지니어링) 의 독특한 조합을 활용하여 탁월한 균일성, 정확성, 반복성을 제공합니다. CT + (CT +) 는 소형의 간소화된 디자인을 포함한 여러 가지 기능을 자랑하며, 이 설계는 특정 설치 공간 내에서 최고 수준의 성능을 제공합니다. 또한 CT + 는 최적의 증착 레시피를 만들고 유지하기 위해 정확하게 조정합니다. AMAT Centura eMax CT + 는 고급 실험실 규모의 CVD 원자로 시스템으로, 증착 및 식각 공정에 고성능, 저온 플라즈마 소스를 사용합니다. 이 원자로는 단일 기판에 여러 층의 통합 마이크로/나노 구조를 구성 할 수있다. CT + 는 가열 된 기판 및 기판 호일을위한 통합 용광로 시스템과 원자층 증착을위한 별도의 에칭 챔버 (etching chamber) 를 특징으로합니다. 이 도구의 견고한 설계로 인해 200 ° C ~ 1150 ° C의 온도가 확대되어 다양한 프로세스가 가능합니다. CT + 는 PLL (phased locked loop) 주파수 제어, 임베디드 프로그래머블 논리, 디지털 네트워크 제어 및 DC 바이어스 제어를 포함한 다양한 고급 기술의 이점을 제공합니다. 이러한 고유한 기능은 프로세스 매개변수의 극히 정확성과 반복성을 가능하게 합니다. 또한, CT + 는 안정적이고 반복 가능한 가스 전달을 위해 가스 매니 폴드 및 분배 시스템을 제공합니다. CT + 의 설계를 통해 사용자는 챔버 (chamber) 구성을 빠르고 쉽게 변경하거나 수정할 수 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + 는 반도체 장치 제조를 위해 특별히 설계된 고급 고성능 CVD 원자로입니다. 그것의 독특한 기술 조합과 뛰어난 디자인은 모든 증착 및 식각 프로세스에 대한 뛰어난 균일성, 정확성, 반복성을 가능하게합니다. CT + 의 작은 발자국은 공간을 극대화해야 하는 실험실에 이상적인 선택이다. & # 160; & # 160;
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