판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9352627

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + Reactor는 집적 회로 및 기타 고급 전자 장치 제작을위한 고성능, 고급 에칭 및 증착 도구입니다. 이 도구는 표준 클러스터 도구와 통합 MaxJET ™ IIXE Beam Element Technology (BET) 소스를 결합하여 고급 에치 및 증착 프로세스를 제공합니다. 원자로는 반도체 제조에 사용되어 재료를 정확하게 퇴적하거나 에치합니다. MaxJET (tm) IIXE BET 소스를 사용하여 웨이퍼에 재료를 전달합니다. 그런 다음 컴퓨터 제어 고속 제트 스트림 (jet stream) 에 의해 증착이나 에칭 챔버에서 구동됩니다. 제트 스트림 (jet stream) 은 기판으로 재료의 정확하고 균일 한 전송을 제공합니다. eMax CT + 는 또한 MPC (Process Digital Magnetic Planar Control) 장비를 사용하여 etch 매개 변수를 정확하게 제어합니다. 이 시스템은 에치 (etch) 프로세스를 완벽하게 제어하여 최고 수준의 정밀도 및 반복성을 달성합니다. eMax CT + 에는 소스 정렬, 핫 펀칭 및 구분 지정, 웨이퍼 배치 비전 장치 (vision unit for wafer placement), 보안 데이터 전송, 자동화된 프로세스 최적화 등의 고급 기능이 포함된 표준 클러스터 도구가 포함되어 있습니다. 클러스터 도구는 반복 가능하고 견고한 처리를 보장하며, 시각적 검사는 더 높은 수율과 처리량을 제공합니다. 또한, 원자로에는 정확성과 성능을 보장하기 위해 다양한 측정, 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 여기에는 챔버 압력, 가스 흐름, 온도, 표면 토폴로지, 가스 구성 등과 같은 프로세스 매개변수를 모니터링하여 최적의 작동을 보장하는 광학 진단 시스템 (Optical Diagnostics Machine) 이 포함됩니다. AMAT Centura eMax CT + Reactor는 집적 회로 및 기타 반도체 장치에서 고급적이고 정확한 기능을 생산하기 위한 신뢰할 수 있는 고성능 도구입니다. 통합 MaxJET ™ IIXE BET 도구, Process Digital MPC 자산 및 다양한 측정 및 제어 시스템을 활용하여 정확하고 반복 가능한 에칭 및 증착 프로세스를 보장합니다. 원자로는 집적 회로, 전자 장치, 기타 고급 장치 제작에 적합하다.