판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9286890

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + 는 표준화, 빠르고 신뢰할 수있는 다양한 증착 체계를 위해 설계된 다중 도구 증착 시스템입니다. 독점적 인 On-The-Fly 챔버 성격 전환 기술을 갖춘 이 원자로는 가장 까다로운 어플리케이션에 진정한 유연성을 제공합니다. 다중 모듈식 설계는 사용자에게 친숙한 구성과 옵션을 제공합니다. 이 장치는 최대 8 "의 웨이퍼 크기와 CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition) 및 ALD (Atomic Layer Deposition) 와 같은 여러 증착 프로세스를 위해 설계되었습니다. 또한 온다이 프로세스 월드 스위칭 (on-the-fly process world switching) 기능을 통해 사용자는 프로세스 시퀀스를 중단하지 않고도 CVD를 ALD로 전환할 수 있습니다. 이는 시간, 에너지 및 자원을 절약합니다. AMAT Centura eMax CT + 에는 최대 3 개의 전구체 및 2 개의 질량 흐름 컨트롤러를 수용 할 수있는 다목적 듀얼 존 챔버와 5 개의 소스 포트가 제공됩니다. 통합 로드 잠금 시스템 (Load-Lock System) 과 자동 보호 시스템 (Automated Protection Systems) 은 오염, 빠른 온난화 및 냉각, 가스 전달 정확성에서 프로세스와 기판을 보호합니다. 통합 사용자 인터페이스 (Unified User Interface) 와 고정밀 동작 제어 (High-Precision Motion Control) 는 짧은 학습 곡선과 동일하며 간단한 사용자 경험과 일관된 결과를 제공합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + 는 또한 처리량이 많은 다중 구성 설계로, 다수의 프로세스 조건과 기판을 빠르고 안정적으로 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. 또한 저 (low) 및 고 (high) 진공 옵션, PVD 모듈을위한 2 개의 개별 평면 마그네트론 및 온도 프로파일링을위한 웨이퍼 매핑 기능과 같은 여러 챔버 및 특수 옵션을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + 는 사용 가능한 가장 고급 원자로 도구 중 하나이며, 최대의 유연성과 정밀도를 제공합니다. 이 제품은 다양한 다양한 프로세스 기능을 제공하여, 박막 (Thin-film) 태양열 전지 및 MEMS 장치에서 박막 (Thin-film) 드라이브에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 고유한 On-The-Fly 챔버 성격 전환 기술을 갖춘 Centura eMax CT + 는 모든 반도체, MEMS 또는 전자 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.