판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9286888

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + 는 고급 반도체 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 가공로입니다. 탁월한 정확성과 반복성으로 고순도 증착, 에칭, 어닐링 (annealing) 프로세스를 가능하게 하는 혁신적인 가스 전달 장비입니다. 원자로 (Reactor) 는 하드웨어 (Hardware) 와 소프트웨어 (Software) 기술의 최신 발전의 조합으로, 원자로 내 환경을 동적으로 제어할 수 있습니다. AMAT Centura eMax CT + 는 독자적인 가스 전달 시스템과 고급 이온화 제어 (ionization control) 기능을 제공하여 보다 높은 수준의 제어, 정확성 및 성능을 제공합니다. 가스 전달 장치 (Gas Delivery Unit) 는 가공을 위해 최적의 클린 룸 조건을 보장하기 위해 온보드 공기 여과 기계를 갖추고 있습니다. 고급 이온화 제어는 온도, 압력, 에치 (etch), 증착 (deposition), 어닐링 (annealing) 프로세스 등 물리적 변수에 대한 엄격한 제어를 보장합니다. 원자로 내 환경에 대한 동적 제어 (Dynamic control) 는 또한 품질, 정밀도가 높은 더 빠른 프로세스 사이클 (process cycle) 과 반응 시간에 대한 더 나은 제어 (control) 를 가능하게한다. 또한 APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + 는 다중 축 제어, 프로세스 중 실시간 오존 모니터 및 플라즈마 모니터링 도구를 포함한 고급 안전 및 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 다축 제어 에셋 (multi-axis control asset) 을 사용하면 원자로 매개변수를 원격으로 액세스하고 제어할 수 있으며, 프로세스를 월등히 제어할 수 있습니다. 프로세스 내 실시간 오존 모니터는 정확하고 정확한 플라즈마 기반 프로세스를 가능하게합니다. 플라즈마 모니터링 모델 (Plasma monitoring model) 은 원자로가 실행되는 동안 작동 온도, 압력 및 기타 매개변수를 모니터링하고 기록합니다. 이 기능은 원자로의 안전과 최적의 성능을 보장하는 데 필수적입니다. Centura eMax CT + 역시 효율성을 극대화하고 다운타임을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 저전압 전력으로 작동하며, 액체 냉각장비가 내장되어 있어 챔버 (chamber) 내부 환경을 냉각시키고 조용하게 유지하여 에너지 비용을 절감할 수 있습니다. 이 원자로에는 강력한 프로세스 데이터 모니터링 시스템 (process data monitoring system) 과 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 가 함께 제공되므로 설정이 쉽고 빠르게 조정됩니다. 요약하면, APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + 는 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 고급, 고성능 및 효율적인 처리 원자로입니다. 이 원자로는 최첨단 가스 전달 장치 (gas delivery unit), 고급 안전 기능, 에너지 절약 기능으로 인해 뛰어난 제어, 정확도 및 성능을 제공합니다. 첨단 하드웨어 (HD) 와 소프트웨어 (SW) 의 결합으로 고품질의 반도체를 처리할 수 있는 혁신적인 옵션입니다.