판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9195718

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+
ID: 9195718
Oxide etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + 는 화학 증기 증착 (CVD) 응용 분야에서 우수한 결과를 제공하기 위해 특별히 설계된 고성능 원자로입니다. 고성능 플랫폼, 효율적인 설계, 고급 기능을 갖춘 이 원자로는 성능과 처리량을 극대화하면서 웨이퍼 (wafer) 당 비용을 절감합니다. AMAT Centura eMax CT + 는 정밀도 듀얼 선형 DC 모터를 중심으로 설계되었으며, 이 모터는 공정 영역 내에 기판을 정확하게 배치 할 수있는 높은 정확도의 무접촉 광학 인코더를 특징으로합니다. 이 모터는 2 상 유도 자동 제어와 함께 부드럽고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 프로세스를 제공합니다. 이 원자로의 전력 장비는 최대 24kW의 가변 전력 출력을 갖춘 외부 제어 고주파 (high-frequency) AC 전원으로, 특정 응용프로그램에 에너지 효율이 가장 뛰어납니다. APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + 에는 다양한 고급 기능이 장착되어 있어 CVD 프로세스의 안정적인 성능을 보장합니다. 여기에는 프로세스 환경을 제어하기위한 고급 압력 안전 시스템 (Advanced Pressure Safety System), 증착 중 열 손실을 최소화하는 통합 쿼츠 냉벽 열 관리 장치 (Integrated Quartz Cold-Wall Heat Management Unit) 및 소스 가스의 일관되고 반복 가능한 온도를 보장하는 화학 소스 온도 관리 머신 (Chemical Source ton Management Management Machine) 이 포함됩니다. 또한, CENTURA E-MAX CT + 는 직접 접촉 열전대 및 열전기 냉각기 열전구를 통해 공정 영역 온도를 모니터링하고 제어하여 균질하고 일관된 결과를 보장 할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 또한 안전한 작동을 보장하고 샘플 무결성 (sample integrity) 에 대한 손상 가능성을 제한하는 실시간 모니터링 도구를 갖추고 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + 는 탁월한 CVD 처리 결과를 제공 할 수있는 고급 고성능 원자로입니다. 효율적인 디자인, 정밀 모터, 강력한 AC 전원 및 다양한 고급 기능의 조합으로 AMAT CENTURA E-MAX CT + 는 고급 화학 증기 증착 어플리케이션을위한 탁월한 선택입니다.
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