판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293624199

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+
ID: 293624199
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Etcher, 12" EFEM TM Module AC Rack Generator rack 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT + 는 제조 비용이 낮아 균일하고 반복 가능한 결과를 제공 할 수있는 높은 처리량 원자로입니다. 고온 필름, 산화물, 질화물, 니트로 실 및 중합체의 증착 성능을 위해 설계되었습니다. 원자로는 구성에 따라 2-5 개의 공정 포켓으로 구성되며, 2 차 공정에 대한 FIB (focus ion beam) 소스 및 e-beam 건과 함께 제공됩니다. AMAT Centura eMax CT + 는 고급 열 효과 소스로 제조됩니다. 이것은 뛰어난 웨이퍼 투 웨이퍼 반복성으로 대형 웨이퍼 크기에 대한 필름의 매우 균일 한 증착을 제공합니다. 또한 eMax CT + 는 가변 진공 압력 및 온도 설정을 허용하여 필름의 증착율, 두께, 화학량 측정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 공정 제어 (process control) 는 원자로와 표준으로 제공되는 범용 공정 모듈 (universal process module) 을 통해 더욱 최적화 될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + 에는 고출력 FIB 소스가 포함되어 현미경 아래의 재료 표면을 정확하게 조작합니다. 이 소스에서, 고급 패턴 처리는 높은 수준의 정확도로 발생할 수 있습니다. 또한, 전자 빔 총은 필름 공정의 나노 스케일 제어를 허용합니다. 원자로의 첨단 기술 (advanced technology) 은 생산 수준 처리에서 여러 기판을 신속하게 처리하기 위해 사용될 수있다. 통일되고 반복 가능한 결과로 높은 처리량 웨이퍼 처리가 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + 는 프로세스 전반에 걸쳐 안정적인 웨이퍼 품질, 최적의 반복성 및 신뢰성, 낮은 소유 비용을 제공하도록 설계되었습니다.
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