판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9230376
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판매
ID: 9230376
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
CVD System, 8"
(3) Chambers: DxZ
Chamber A:
Manometer: 100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
Chamber B:
Manometer:100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
Chamber D:
Manometer:100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
1st Monitor: Through the wall
2nd Monitor: Stand alone
Narrow body loadlock
HP Robot
OTF
Valves: Unit MFCs
Filters: MILIPORE
Regulators: VERIFLO
System cabinet exhaust: Top
Single line drop
Gas pallet configuration:
Chamber A / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 1 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Chamber B / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 2 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Chamber D / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 1 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Process: Nitride deposition (Nit. Pass.)
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor는 생산 수준 배치 원자로로, 다양한 응용 프로그램에 대한 고성능 재료를 생산할 수 있습니다. DxZ 원자로는 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PE-CVD) 의 생산을 위해 독특하게 설계되었습니다. DxZ 원자로는 턴테이블 베이스와 4 세그먼트 멀티 표적 플라즈마로 설계되었습니다. 이를 통해 장비는 질화물, 산화물, 다이아몬드와 같은 탄소 (DLC) 및 특정 응용에 맞출 수있는 실리콘 기반 화합물과 같은 다양한 물질을 합성 할 수 있습니다. 턴테이블은 또한 다른 타겟을 전환하는 데 사용되며, 마모 방지 다중 세그먼트 대상을 허용합니다. 작동시 DxZ 원자로는 3 단계 공정을 사용합니다. 첫 번째 단계 는 "가스 '소개 인데, 여기 에서" 가스' 는 약실 에 들어가 합성 을 위해 적절 히 혼합 된다. 두 번째 단계 에서는 "펄스 '형" 플라즈마' 가 그 과정 과 일치 한 전력 을 공급 하는 "시스템 '에 의해 생성 되고 유지 된다. 마지막으로, 제 3 단계에서, 기질은 챔버 (chamber) 에 배치되고, 고주파 전기장과 가스의 혼합으로 형성된 반응성 종은 기판에 강착되어 물질을 형성한다. DxZ 원자로에는 안정적인 작동을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 가스 입구 장치 (gas inlet unit) 의 안전 인터 록 (safety interlock) 및 압력 센서 (pressure sensor) 와 조정 가능한 타이머가있는 가스 배기 머신과 고효율 미립자 및 유해한 가스 여과가 포함됩니다. 설계 및 기능 덕분에 Corning AMAT Centura DxZ Reactor는 고품질의 고성능 재료를 생산할 수 있는 탁월한 도구입니다. 강력한 디자인, 안전 기능 및 다중 기판 재료는 상업용, 산업 및 연구 응용에 적합한 선택입니다.
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