판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9184346
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9184346
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
CVD System, 8"
Mainframe information: Phase 2
Robot type: HP
LoadLock type: NBLL
SMIF: X
Process chambers:
Chamber A
Chamber B
Chamber C
Chamber D
Cooldown chamber:
Chamber E: MSCD
Orient chamber:
Chamber F: X
(4) Process chambers
Process: CVD
Application: DXZ
System controller: UPS
Generator:
Chamber A: RFG 2000-2V
Chamber B: RFG 2000-2V
Chamber C: RFG 2000-2V
Chamber D: RFG 2000-2V
Bottom module:
Chamber A: 0090-01805
Chamber B: 0090-01805
Chamber C: 0090-01805
Chamber D: 0090-01805
Heater lift:
Chamber A: 0010-38426
Chamber B: 0010-38426
Chamber C: 0010-38426
Chamber D: 0010-38426
Baratron: Model Torr
Chamber A 626A11TBE 10Torr
Chamber B 626A11TBE 10Torr
Chamber C 626A11TBE 10Torr
Chamber D 626A11TBE 10Torr
Baratron: Model Torr
Chamber A 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber B 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber C 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber D 122BA-00100EBS 100Torr
Gas control : SERIFLEX TYPE
Gas panel:
Chamber A:
LINE1 SiH4 500sccm
UNE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 200sccm
LINE7 H2 5SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SIM
SIDE N20 500sccm
Chamber B:
LINE1 X
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 200sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SLM
SIDE N20 500sccm
Chamber C:
LINE1 X
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 300sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3SLM
SIDE N20 500sccm
Chamber D:
LINE1 N20 3SLM
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 300sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SIM
SIDE N20 500sccm
Packing list:
Mainframe
AC Remote rack
Generator rack
(2) Part boxes
Power: 208VAC
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ는 고급 재료 엔지니어링 및 공정 기능을 갖춘 적합한 설계 및 엔지니어링 원자로입니다. 이 원자로는 증착 (deposition), 식각 (etching), 열 어닐링 (thermal annealing) 과 같은 다양한 프로세스에 사용될 수 있으며 다양한 응용 프로그램의 요구 사항을 충족시키기 위해 특별히 설계되었습니다. AMAT Centura DxZ 원자로는 효율적이고 안정적인 설계로, 높은 처리 처리량과 반복성을 달성할 수 있습니다. 이는 높은 안정성, 정확성, 고품질, 내구성 구성 요소, 그리고 고객의 요구에 맞춘 견고하고 유연한 챔버 (chamber) 설계를 통해 이루어집니다. 이것은 높은 공정 결과가 필요할 때 APPLIED MATERIALS Centura DxZ 원자로를 많은 산업에서 선호되는 선택으로 만듭니다. Centura DxZ 원자로에는 고급 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 장착되어 있어 높은 반복 가능성과 고속 공정에 대한 저온 베이킹이 가능합니다. 약실은 코팅 (coating) 및 마스킹 (masking), 에칭 (etching) 또는 증착 (deposition) 에 이르기까지 다양한 특정 용도에 대해 구성 될 수 있습니다. 이러 한 다양 한 과정 을 통해, 더 넓은 범위 의 기판 조성물 과 온도 를 얻을 수 있으며, 여러 가지 "프로그램 '에 원자로 를 사용 할 수 있게 되어, 여러 개 의 원자로 가 필요 없게 된다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ 는 또한 자동화된 어댑티브 제어 시스템 (Adaptive Control System) 을 탑재하여 최대 정밀도, 반복성, 처리량을 보장하는 동시에 사용자 개입을 줄입니다. 이 시스템은 또한 스크랩 (scrap) 을 줄이고 주기 시간을 단축하는 한편, 원격 성능 최적화 및 주기 최적화 (cycle time optimization) 를 지원하는 진단 및 프로세스 제어 툴도 제공합니다. AMAT 센츄라 DxZ (Centura DxZ) 의 웨이퍼 포지셔닝은 자동 중심 및 클램핑 메커니즘을 통해 손쉽게 이루어지며, 이를 통해 수동 지원을 받지 않고 정밀하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. 또한, 원자로에는 프로세스 중 실시간 온도 조절을 제공하는 온도 균일 센서 (temperity sensor) 가 장착되어 전체 프로세스 동안 균일 한 온도를 보장합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Centura DxZ 원자로는 유연성과 안정성을 위해 설계되었으며, 다양한 어플리케이션에서 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 원자로는 정밀하게 제어되고, 효율적이며, 내구성이 있으며, 사이클 시간을 크게 줄이고, 출력을 늘리는 데 도움이되며, 다수의 원자로와 수동 개입이 필요합니다.
아직 리뷰가 없습니다