판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9174370

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ 원자로는 반도체 재료 제조에 사용되는 저온 증착 장비입니다. AMAT, Inc.의 모델입니다. Centura 시리즈 분자 빔 에피 택시 (MBE) 도구는 대량의 반도체 기판의 고수율, 자동 처리를 제공하도록 설계되었습니다. AMAT Centura DxZ는 효율적이고, 자동 처리를 위해 설계되었으며, 다양한 재료를 지원할 수 있습니다. 최대 250mm 직경의 기판 용량으로 쿼츠 (quartz) 와 실리콘 (silicon) 을 포함한 최대 4 개의 재료 소스를 사용합니다. 여기에는 온도, 압력 (pressure) 과 같은 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어하는 다양한 임베디드 소프트웨어가 포함된 프로그래밍 가능한 전자 시스템 (programmable electronics system) 이 포함됩니다. 다중 구역 기판 히터 어레이는 반복 가능한 온도 프로파일을 제공하는 반면, 피에 조 제어 가스 제트 (piezo-controlled gas jet) 는 반응성 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 처리 중 기판의 온도를 모니터링하는 적외선 소스를 특징으로합니다. APPLIED MATERIALS Centura DxZ는 매우 정확하고, 균일하며, 반복 가능한 epitaxial 처리의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 주요 기능으로는 고정밀, 자동화된 프로세스 제어, 저진공 환경 등이 있습니다. 또한 견고한 설계로 오염을 방지하고 처리량을 극대화할 수 있습니다. 센츄라 DxZ (Centura DxZ) 는 고급 소프트웨어 및 임베디드 알고리즘을 통해 다양한 바람직한 범위에서 온도와 압력을 유지할 수 있습니다. 이 머신에는 전체 공구 모니터링 (full tool monitoring) 기능이 포함되어 있으며, 기판이 올바르게 처리되고 모든 프로세스 매개변수가 세부 항목 내에 유지됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ는 MBE 증착을위한 안정적이고 생산적인 도구입니다. 다재다능한 구성과 적절히 규제된 환경으로 인해 고급 반도체 소재 개발자들에게 대중적인 선택이 됩니다 (영문). 일관성, 효율성 및 반복성은 최고의 품질의 증착을 달성하기 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.