판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9093320

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ 2.5MW PECVD 원자로는 비정질, 미생물, 실리콘 및 질화 탄소와 같은 고급 재료의 증착을 위해 설계되었습니다. 구성 능력이 뛰어나고 다양한 애플리케이션에 대한 구축 (deposition) 솔루션을 제공합니다. AMAT Centura DxZ 원자로는 자화 플라즈마를 사용하여 증착 가스의 균일하고 지속적인 흐름을 생성하는 기생 평행판 원자로입니다. 이를 통해 모든 표면에 최적화 된 증착률과 등각 코팅이 가능합니다. 원자로는 두께가 2 나노 미터에서 8 마이크로 미터인 레이어를 침전하도록 설계되었습니다. PECVD 프로세스는 낮은 열 부하를 유지하면서 다양한 형상에 대한 뛰어난 단계 범위를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura DxZ 원자로에는 최대 2.5MW의 소스 전원이 장착되어 있어 증착률이 높습니다. 혈장 밀도는 조절 가능하여 다른 가스 조합을 최적으로 통합 할 수 있습니다. 또한 2 개의 개별 가스 피드를 갖추고 있으며, 온도, 압력, 도핑과 같은 플라즈마 매개변수를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. Centura DxZ 원자로의 작동 압력 범위는 0.01mbar ~ 4mbar 사이이며, 에칭 및 증착을 포함한 다양한 프로세스가 가능합니다. 온도 범위는 섭씨 200 ~ 900도 사이에서 조정이 가능하여 공정 레시피가 다릅니다. 원자로는 안정적이고 반복 가능한 공정 제어를 위해 구성 될 수 있으며, 시간이 지남에 따라 일관된 결과 시간을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ는 안전하고 안정적인 운영을 위해 설계되었습니다. 온보드 퍼지 시스템, 온도 감지 등 여러 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 이 로 말미암아 안전 한 수술 을 할 수 있으며, 잔여 "가스 '가 존재 하기 때문 에 오염 될 가능성 이 있다. 전반적으로, AMAT Centura DxZ 원자로는 다른 응용을위한 광범위한 고급 재료를 증착하기위한 고급 도구입니다. 높은 전력, 안정적이고 반복 가능한 공정 제어 (process control) 와 결합된 광범위한 작동 온도 및 압력 범위는 유연하고 신뢰할 수있는 증착 솔루션입니다.