판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #138375

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ는 반도체 제조를 위해 대량의 웨이퍼 생산을 위해 설계된 원자로 장비입니다. 이 시스템은 공정 챔버, 난방 및 냉각 시스템, 가스 전달 시스템, 전기 전원 공급 장치로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel), 진공 밀봉 환경으로, 세라믹 물개를 통해 외부 난방 및 냉각 소스에 연결됩니다. 이 방에는 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수있는 웨이퍼 홀더가 장착되어 있습니다. 챔버 내부는 직접 가스 가열을 통해 가열되고 차가운 벽 (cold wall) 또는 액체 헬륨 열 교환기 (liquid helium Heat Exchangers) 에 의해 냉각됩니다. 가스 배달은 프로세스 제어 및 시퀀싱이 정확하도록 자동 제어 밸브 (automated control valve) 에 의해 제공됩니다. 진공 장치 는 "챔버 '를 적절 한 작동 압력 으로 유지 하고 처리 중 에 깨끗 한 대기 를 유지 한다. 그 에 더하여, 기계 에는 "웨이퍼 '를 공정" 챔버' 안팎으로 효율적 으로 대량 전송 할 수 있는 적재 장치 가 갖추어져 있다. 자산에는 DC, RF 및 전자 레인지 소스를 포함한 다양한 전원 공급 장치가 사용됩니다. AMAT Centura DxZ는 최고의 표준으로 구성되어 있으며, 고수율 웨이퍼 생산을 위한 안전하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 정밀한 온도 조절, 빠른 열 사이클링, 다중 웨이퍼를위한 충분한 공간, 프로그래밍 가능한 가스 배달, 광범위한 제품 볼륨에 맞게 확장 가능합니다. 또한 고객의 요구 사항을 충족하도록 모델을 구성할 수 있으며, 고객의 구체적인 요구 사항에 부합하는 다양한 옵션을 선택할 수 있습니다 (영문). APPLIED MATERIALS Centura DxZ는 AMAT 고급 하드웨어 및 소프트웨어 솔루션과 결합하여 반도체 제조를 위한 최적의 프로세스 솔루션을 제공 할 수 있습니다.