판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #114705

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ 반도체 원자로는 높은 생산성과 동급 최고의 증착 및 에치 성능을 제공하도록 설계된 증착 및 에치 원자로입니다. 고급 패턴, 청소, 산화 (oxidation), 질화 (nitridation) 프로세스, 일부 레이저 지원 프로세스와 같은 다양한 고급 프로세스와 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. AMAT 센츄라 DxZ (Centura DxZ) 는 대규모의 챔버 크기와 확장 가능한 프로세스 기능을 갖추고 있어 기존 및 새로운 고출력 생산 전략에 이상적인 플랫폼입니다. APPLIED MATERIALS Centura DxZ 원자로는 다중 주파수, 다중 마그네트론 RF 소스로 구동되며, 다양한 드라이브 기술을 통합하여 뛰어난 프로세스 유연성을 제공하여 초저압 증착에서 고밀도 비등방성 에치까지의 작동을 가능하게합니다. 또한 고급 프로세스 제어 (Process Control) 및 데이터 획득 시스템 (Data Acquisition System) 을 통해 제조업체는 프로세스를 정확하고 효율적으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 APPLIED MATERIALS 원자로의 다재다능성은 특허를받은 혁신적인 다중 주파수 RF 마그네트론 소스 (magnetron source) 로 인해 플라즈마 제어, 기타 응용 주파수와 무관하게 제공되므로 매우 복잡하고 맞춤형 증착 및 식각 프로세스가 가능합니다. 특허를 획득한 고급 플라즈마 임피던스 튜너 (Impedance Tuner) 를 통해 프로세스 결과 활용도를 극대화할 수 있습니다. 원자로는 임베디드 공정 레시피 (embedded process recipe) 와 웨이퍼 처리 (wafer handling) 를 통해 가장 어려운 플라즈마 공정을 완전히 자동화하도록 설계되었습니다. 이 기능을 통해 사용자는 운영 프로세스 레시피를 신속하게 개발, 신속하게 구축할 수 있습니다. 게다가, 낮은 응력 처리로 인해 스트레스 유발 결함에 대한 두려움없이 3D 구조를 포함한 다양한 반도체 기하학에서 사용 될 수 있습니다. 또한, 이 기하학은 응력 유발 결함에 대한 두려움없이 3D 구조를 포함한 다양한 반도체 기하학에서 사용될 수 있습니다. Centura DxZ 는 클러스터 기능, 최신 기술 지원 (예: 고급 패턴, 고해상도 (high-k) 유전체 재료) 등 다양한 애플리케이션별 기능을 갖춘 고도로 유연한 프로세스 툴입니다. 첨단 엔지니어링 설계 (Advanced Engineering Design) 와 고급 프로세스 제어 (Process Control) 및 데이터 획득 시스템 (Data Acquisition System) 을 갖춘 가장 까다로운 설계와 기술 노드를 지원하는 이상적인 플랫폼입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ 는 생산성을 극대화하고 생산성을 극대화하여 최신 제조 환경에 빠르고 쉽게 적용할 수 있도록 설계되었습니다. 업계 최고의 프로세스 기능, 자동화 수준 (level of automation), 확장 가능한 기능 등을 통해 제조업체는 운영 목표를 신속하고 효율적으로 달성할 수 있습니다.