판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #114611

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor는 고급 반도체 집적 회로를 제조하는 데 사용되는 다중 구역 박막 증착 장비입니다. 원자로는 높은 처리량 웨이퍼 처리, 공정 유연성, 높은 수준의 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 4 개의 전기 독립 구역을 사용하여 뛰어난 시스템 성능을 제공하고 웨이퍼 프로세스 유연성을 제공합니다. 4 개의 구역 각각은 ICP 플라즈마 소스에서 공급되는 고온, 유도 결합 플라즈마 (ICP) 를 함유한다. ICP 소스를 통해 원자로는 기판 온도 1000 ° C에서 작동 할 수 있으며, 이를 통해 고온 금속 및 합금을 처리 할 수 있습니다. 또한, 4 구역 아키텍처를 통해 단일 웨이퍼에 여러 프로세스 레시피를 구현 할 수 있습니다. 예를 들어, 단일 웨이퍼는 동일한 원자로에서 모두 처리 된 4 개의 다른 재료 층을 가질 수 있습니다. AMAT Centura DxZ Reactor는 고속 로봇 팔을 특징으로하는 웨이퍼 운송 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 탁월한 처리량, 정밀, 가용성을 제공하며, 원자로가 시간당 최대 180 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 원자로는 또한 소프트웨어 제어 (Software Control), 데이터 로깅 (Data Logging), 그래픽 디스플레이 (Graphics Display) 등 모든 프로세스 모니터링 및 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 전체 프로세스 전반에 걸쳐 원자로 성능을 제어, 모니터링, 최적화할 수 있습니다. 원자로는 뛰어난 신뢰성과 반복 성을 위해 제작되었습니다. 이 도구는 오염 물질에 대한 높은 수준의 관용 (tolerance) 으로 엄격한 안전 및 환경 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 또한, 원자로는 품질 제어 (Quality-control) 자산을 사용하여 프로세스가 안정적으로 반복되고 재생성될 수 있도록 보장합니다. APPLIED MATERIALS Centura DxZ는 시장에서 가장 발전된 박막 증착 원자로 중 하나이며, 최첨단 반도체 장치의 개발 및 비용 효율적인 생산이 가능합니다. Centura DxZ Reactor 는 탁월한 처리량, 유연성, 안정성, 정확성을 자랑하는 반도체 업계의 제조업체를 위한 솔루션입니다.