판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxL #117144

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxL은 마이크로 전자 장치 제조를위한 다용도, 비용 효율적인 솔루션을 제공하는 혁신적인 반도체 원자로입니다. Centura XL 엔지니어링 장비를 갖춘 AMAT의 검증된 PECVD 플랫폼으로 구동됩니다. AMAT Centura DxL은 고급 기능을 통해 초고화질 (Ultra-High) 종횡비 처리에 대한 새로운 표준을 설정합니다. APPLIED MATERIALS Centura DxL은 최고의 증착 속도와 균일성을 제공하여 생산 처리량 및 수율을 극대화하도록 설계되었습니다. 고성능 PECVD 플랫폼은 최대 530 ° C까지 작동하여 광범위한 산화물, 질화물 및 금속 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 원자로는 APPLIED MATERIALS 특허를받은 IntelliPath 제어 시스템과 온보드 온도 및 압력 제어를 결합하여, 균일성과 반복성을 모두 갖춘 필름의 증착을 가능하게합니다. Centura DxL은 또한 평면 화 (planarization) 및 이방성 패턴 (anisotropic patterning) 을 포함한 다양한 종횡비 처리 옵션을 제공합니다. 원자로 (reactor) 는 공정 챔버 (process chamber) 와 상기 기판 온도 (upper substrate temperation) 를 동시에 독립적으로 제어하여 필름 강착 및 평면 화를 정확하게 제어 할 수있다. 고급 웨이퍼 보트 처리 장치를 사용하면 빠르고 효율적인 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxL 원자로는 마이크로 전자 장치 제조를 위해 가장 다용도 원자로로 만드는 고급 기능을 제공합니다. 그것 은 극단적 인 정확성 과 반복성 을 가진, 광범위한 산화물, 질화물, 금속 을 증착 시키는 능력 을 가지고 있다. 높은 종횡비 처리 기능을 통해 MEMS, 나노 기술 등 초고화질 (Ultra-High) 종횡비 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다. 이 기계는 또한 IntelliPath, 온보드 온도 및 압력 제어, 고급 웨이퍼 보트 처리 도구 (Advanced Wafer Boat Handling Tool) 를 사용하여 사용 및 유지 보수가 쉽습니다.