판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9398745
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ID: 9398745
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Metal etcher, 8"
Wafer type: SNNF
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy
CRT Screen
LLA/LLB: Wide body load lock with rotation
HP Robot
Chamber A: ASP+
Chamber C: Metal DPS R0
Chamber D: eMxP+
Chamber E: Single slot cool down
Chamber F: Orienter
Main AC rack
System controller rack
Power supply / Generator racks
Miscellaneous parts
Does not include:
Heat exchangers
Backing / Roughing pump
SSSCo PDS Solution
eMxP+ Process kit
eMxp+ ESC
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS (Dynamic Process Equipment) 는 에너지 효율적이고 유연한 플랫폼 내에서 웨이퍼를 처리하도록 설계된 원자로, 광전자, 마이크로 일렉트로닉 및 하이브리드 재료 제조에 적합합니다. 이 시스템은 대규모 클러스터 툴을 통해 높은 처리량을 제공하며, 동시에 최대 28 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. AMAT Centura DPS는 고급 제어 전자 장치를 사용하여 빠른 주기 시간을 통해 반복, 정확성, 안정적인 성능을 제공합니다. 고면적, 다중 반응 챔버 설계와 고유하게 배치 된 석영 벽을 결합하여 모든 증착 영역에서 균일성을 보장하고, 더 나은 공정 정확도를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS 는 다양한 프로세스 기능과 매개 변수를 제공하여 고객이 필요한 결과를 신속하고 경제적으로 얻을 수 있게 해 줍니다 (영문). 원자로는 프로세스 가스를 제공하는 저질량, 저열, 고효율 매니 폴드, 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 포지셔닝을위한 고효율 서셉터 디자인으로 구성됩니다. 이 장치에는 자동 작동을 위한 PLC (Programmable Logic Controller) 기술, 사용 편의성을 위한 고급 GUI (Graphical User Interface), 효율성과 품질을 극대화하는 통합 레시피 및 트렌딩 스토리지가 포함되어 있습니다. 센츄라 DPS (Centura DPS) 는 다양한 기판 크기와 재료와 호환되며, 균일 한 온도 조절을 통해 뛰어난 기판 균일성을 제공합니다. 이 기계에는 고급 자동화 및 제어 기능, 핵화 및 분해를위한 맞춤형 프로그램, 다중 계층 자동 웨이퍼 처리 도구 (multi-layered automated wafer handling tool) 가 포함되어 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS는 빠른 자산 시작 및 웨이퍼 오염없는 환경을 제공합니다. 전반적으로 AMAT Centura DPS는 고성능 옵토일렉트로닉, 마이크로 일렉트로닉 및 하이브리드 재료를 제조하는 데 적합한 매우 다양한 모델입니다. 이 장비는 뛰어난 수준의 반복 가능성, 정확성 및 웨이퍼 투 웨이퍼 (Wafer-to-Wafer) 균일성을 자랑하여 정밀 응용 분야에 이상적입니다. 이 고급 프로세스는 비용, 에너지 사용량, 시간을 최소화하면서 처리량을 최적화하도록 설계되었습니다.
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