판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9301836

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS는 반도체 제조 공정에서 재료의 에칭 및 증착을 위해 설계된 다용도 원자로입니다. AMAT Centura DPS 는 다양한 프로세스 애플리케이션에 대해 비용 효율적이고 안정적인 처리 솔루션을 만들 수 있는 포괄적인 독립형 (Standalone) 장치로 작동합니다. DPS (Dual-Chamber) 설계는 여러 수준에서 사용하기에 적합하므로 기판을 동시에 몰입시키고 복잡한 에칭 작업 (Etching Operation) 및 재료 증착 임무를 수행 할 수 있습니다. 이중 챔버는 최대 7 개의 프로세스 가스 라인을 지원하도록 최적화되었습니다. 첫 번째 방은 석영으로 늘어서 있고 섭씨 75 ~ 325 도의 온도에서 작동하는 반면, 두 번째 방은 최대 16 개의 석영 트레이를 지원하며 섭씨 -10 ~ 600 도의 온도에서 작동합니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS 는 광범위한 제어 기능을 통해 설계되었으며, 다양한 프로세스 업무의 최적의 성능을 제공합니다. 예를 들어, 챔버에는 진공, 일치 및 제거 제어 기능이 장착되어 있습니다. 온도 컨트롤러; 멀티 가스 미터 기능. 또한, 시스템의 공동 설계를 통해 단일 웨이퍼 (single-wafer) 또는 배치 로더 (batch loader) 를 쉽게 통합할 수 있으며 분산된 기계적 설계를 통해 빠르고 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS/Centura DPS는 etchback, oxide growth, oxynitride deposition, laser lift-off 및 alkyl silicate deposition과 같은 광범위한 제조 프로세스를 지원합니다. 산화물 재싱 (oxide ashing), 산화물 증착 (oxide deposition), 질화물 증착 (nitride deposition), 탈피 (stripping) 또는 이륙 (eching) 과 같은 작업에 대해서는 신뢰성이 손상되지 않습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS는 탁월한 안전 및 환경 문제를 염두에두고 제작되었습니다. 비상 차단 밸브와 불연성 공정 가스가 장착 된 UL 승인 장치입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AMAT Centura DPS는 다양한 제조 어플리케이션에 적합한 제품입니다. 완벽한 프로세스 제어 및 유연성, 간편한 유지 보수, 뛰어난 신뢰성을 제공합니다. 이 기계는 강력한 작동, 안정성, 장기적인 성능, 반도체 처리 프로세스의 효율성 및 품질을 최적화하도록 설계되었습니다.