판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9296970

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS (Dual Process Solutions) 는 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 이중 공정 원자로입니다. 자동화된 단일 소스 배치 (single-source batch) 프로세스를 제공하며, 향상된 처리량과 향상된 프로세스 반복성을 통해 뛰어난 온도 및 압력 제어를 제공합니다. 결과적으로, DPS 원자로는 광범위한 고급 반도체 응용 분야에 적합합니다. AMAT Centura DPS 는 2 개의 프로세스 모듈을 갖추고 있으며, 동일한 프로세스 챔버에서 여러 단계를 수행할 경우에도 wafer-to-wafer 반복 기능을 복구할 수 있습니다. 각 프로세스 모듈에는 최대 1500 ° C의 온도에 도달 할 수있는 2 개의 상하 난방 플레이트와 최대 200KW의 전원을 지원하는 2 개의 저압 RF 소스가 포함됩니다. 또한, DPS 원자로에는 고급 PID (Proportional-Integral-Derivative) 컨트롤러 및 소프트웨어가 장착되어 있어 균일하고 일관된 프로세스 성능을 가능하게 하는 정확한 온도 조절이 가능합니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS는 유연성을 위해 설계되었으며, 다양한 구성 요소를 다양한 처리 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 필요에 따라 etch, deposition 및 strip 프로세스에 맞게 구성할 수 있습니다. 원자로는 또한 고해상도 압력 및 온도 측정을 제공하며, 고급 컨트롤러는 최상위 리플로우 제어를 제공합니다. 센츄라 DPS (Centura DPS) 는 내구성이 뛰어나고 안전하며, 필요한 온도와 압력을 유지하면서 밀봉된 환경을 제공하며, 뛰어난 열 균일성과 빠른 주기 시간을 제공합니다. 또한 뛰어난 온도 및 압력 모니터링 기능, 자동 온도 및 압력 경보, 사용자 친화적 인 인터페이스 등이 있습니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS는 생산성을 극대화하고 항상 최고의 프로세스 품질을 유지하려는 사용자에게 적합한 선택입니다. 사용이 쉽고, 안정적이며, 기능이 풍부한 디자인으로 반도체와 고급 포장 산업에 적합합니다.