판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9253112

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS는 다양한 산업에 적용되도록 설계된 플라즈마 강화 증착 장비입니다. 코팅, 반도체, 금속, 절연체 및 기타 재료가있는 필름, 필름 및 필름의 증착에 사용할 수 있습니다. AMAT Centura DPS는 광범위한 증착 프로세스에 걸쳐 높은 처리량과 일관된 플라스마를 제공합니다. 최대 3,600 ° C의 온도에서 안정성을 제공하며, 다양한 형태의 구성 요소를 수용 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS는 균일성을 강조하여 정확하고 반복 가능한 증착 과정을 허용합니다. 이 기계에는 표준 HV 및 LPF 컨트롤을 사용하여 강력하고 잘 설계된 가스 전달 시스템이 있습니다. 이것은 필요한 압력, 조성 및 온도에서 원하는 가스를 공급함으로써 정확한 증착을 보장합니다. Centura DPS는 전원 및 플라즈마 설정을 제어하는 데 직접 디지털 제어를 사용합니다. 이를 통해 Plasma Process Parameter를 정확하게 제어할 수 있으며, 반복 가능하고 안정적인 성능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS의 방사형 및 축 균일성은 강력한 정장 중 하나입니다. 증착의 정확한 제어는 그 과정에서 사용되는 3 단계 (2 개의 가스 및 1 개의 소스) 에서 각각 발생합니다. AMAT Centura DPS에는 기질 간 균일성을 위해 안정적인 플랫폼을 제공하는 강력한 클램핑 장치 (clamping unit) 도 장착되어 있습니다. 프로세스 챔버는 유지 보수 목적으로 쉽게 액세스할 수 있습니다. 부하 잠금 해제 도어 (load-unlock door) 가 장착되어 기판 로드/언로드를 쉽게 수행할 수 있습니다. 챔버에는 온도 균일성을 보장하고 증착 중 예상치 못한 변화를 방지하기 위해 4 점 공정 챔버 냉각기 (Chamber Cooling Machine) 도 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS는 고품질 결과와 처리량을 극대화합니다. 자동 중심화 및 자동 레벨링은 기판의 올바른 정렬을 보장하고 표류를 방지합니다. 반복 가능하고 안정적인 성능으로 인해 운영 관련 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다. 탁월한 성능과 높은 처리량을 제공하는 탁월한 디자인과 첨단 기술 (Advanced Technology) 로 구축되었습니다.