판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233293
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ID: 9233293
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Poly etcher, 8"
Mainframe: Centura Phase2
Chamber A, B & C:
DTCU: ES-DTCU
Gate & throttle valve: TGV, VAT
EDWARDS STP-A2203 Turbo pump
Pumping tube: Heated
ADVANCED ENERGY Altas 2012 Generator (Source)
ENI ACG-6B Generator (Bias)
ESC: Ceramic
EPD: IEP
Chamber F: Orieter
Xfer: HP Robot
L/L: Narrow, heated, tilt-out
Hoist: Local hoist
Gas panel:
Chamber A & C:
Gas / Size / Model
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 200sccm / 8160
Cl2 / 50sccm / 8160
SF6 / 50sccm / 8160
N2 / 20sccm / 8160
Ar / 200sccm / 8160
CF4 / 100sccm / 8161
He / 20sccm / 8160
O2 / 100sccm / 8161C
Chamber B:
Gas / Size / Model
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 200sccm / 8161C
Cl2 / 50sccm / 8160
SF6 / 50sccm / 8160
N2 / 20sccm / 8160
Ar / 200sccm / 8160
CF4 / 100sccm / 8161C
He / 20sccm / 8160
O2 / 100sccm / 8161C
Missing parts: Process chamber chiller & hose
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + 는 다양한 반도체 제작 프로세스를 수행하는 데 사용되는 최첨단 원자로입니다. 유전체 증착 제품 제품군으로, 다양한 반도체 소자 응용을 위해 유전체 필름 (dielectric film) 의 빠르고 정확한 증착을 제공합니다. 이 장비는 실리콘, 쿼츠, 유리, 폴리 이미 드 (polyimide) 및 기타 표면과 같은 다양한 기판에서 수동 층을 생성 할 수 있습니다. AMAT Centura DPS + 의 최대 필드 크기는 25 평방 인치이며 최소 용량 용량은 1 마이크로 앰프입니다. 원자로는 모든 기질의 균일 한 처리를 보장하는 4 사분면 회전 스퍼터 구성을 특징으로합니다. 이 시스템에는 최대 1nm/s의 채택률을 달성 할 수있는 고속 스퍼터링 소스가 장착되어 있습니다. 이를 통해 장치에 높은 처리량을 제공할 수 있습니다. 기계는 또한 증착 공정에 대한 정확한 온도 조절을 달성하기위한 고급 열 제어 (Advanced Thermal Control) 를 가지고보다 균일하고 일관된 결과를 초래합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + 에는 화학적 기반 클리닝 및 사전 청소 기능도 포함되어 있어 효율적인 웨이퍼 처리가 가능합니다. 또한 처리 주기 동안 다양한 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있는 터치 스크린 모니터 (Touch Screen Monitor) 도 함께 제공됩니다. 이 도구는 UNI-Core, SEMI 및 GCR과 같은 다양한 프로토콜 표준을 준수합니다. 또한 ISO-9002 인증을 받았으며 Class II Cleanroom 등급에서 작동하여 일관되고 신뢰할 수있는 결과의 처리 주기를 보장합니다. 센츄라 (Centura) 는 견고하고, 부식에 강한 스테인리스 스틸 프레임으로 구성되어 있으며, 이는 가장 거친 환경에서 긴 수명 동안 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다. 전반적으로, CENTURA DPS + 는 견고하고 안정적인 원자로이며, 다양한 반도체 제작 프로세스에 대한 높은 처리량과 정확한 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 연구· 공업 분야에 적합하며, 공정에 대한 정밀한 온도· 화학적 제어를 제공한다. "센츄라 (Centura)" 는 뛰어난 사양으로 고품질 및 신뢰성 있는 장치를 만드는 데 가장 적합한 도구 중 하나입니다.
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