판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233290

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + 는 증착 공정을 위해 설계된 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 첨단 열압축 결합 (advanced thermocompression bonds) 에서 고급 금속화 층 (advanced metallization layer), 비 극성 유전체 및 산화물의 성장에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. DPS + 는 필요한 필름 구성의 복잡성 또는 요구와 상관없이 전체 증착 작업 (deposition operation) 범위에 이상적입니다. AMAT Centura DPS + 에는 완전한 7 축 동작 제어를 갖춘 2 개의 건, 2 셔터 하드웨어 구성이 있으며, 이를 통해 기판의 위치와 증착 소스를 정밀도로 조정할 수 있습니다. 전체 모션 제어는 프로세스 유연성을 제공하여, 고급 제어 시퀀스로 고정밀 프로세스를 구현합니다. 또한, 기판 홀더를 쉽게 액세스 할 수있는 기능은 기판을 빠르게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 편의성을 높이기 위해 DPS + 에는 여러 가지 in-situ 또는 near-situ 모니터 프로세스가 있으며, 프로세스 조건을 모니터링하고, 실시간 피드백을 제공하고, 즉석 조정을 통해 프로세스 최적화를 허용합니다. 이 실시간 모니터링은 또한 높은 수준의 상황 인식 (Situational Awareness) 을 가능하게 하며 모든 프로세스가 원활하고 효율적으로 실행되도록 합니다. 원자로는 또한 내부 캐리어 가스 공급 장치, 가스 흐름 컨트롤러, 임베디드 가스 혼합물 제어 시스템 (Embedded Gas Mixture Control System) 으로 구성된 독특한 컴퓨터 제어 가스 분배 장비를 갖추고 있습니다. 이 장치를 사용하면 프로세스 조건을 정확하게 제어할 수 있고, 개별 프로세스마다 최적화된 가스 (gas delivery) 를 보장할 수 있습니다. 안전 측면에서 APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + 는 강력한 전기 기계에서 프로그래밍 가능한 인터 록 (interlock) 도구, 독립적으로 인증 된 비상 정지 자산에 이르기까지 안전한 운영을 보장하기 위해 다양한 조치를 사용합니다. 또한, 원자로에는 모든 프로세스를 모니터링하는 엄격한 경보 시스템 (alarm system) 이 있으며, 모든 프로세스 불규칙성을 경고합니다. AMAT CENTURA DPS + 는 다양한 어플리케이션 요구 사항을 처리 할 수있는 다용도 및 신뢰성 있는 원자로입니다. 모션 컨트롤 (Motion Control), 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 기능 및 독립 안전 시스템은 시중의 다른 원자로에 비해 유리합니다. 제어 시스템 (Control System) 은 프로세스 조건에 대한 정확한 제어를 보장하고 사용자가 증착 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있도록 지원하므로 품질 관리 (Quality Control) 및 보증 (Assurance) 을 위한 귀중한 툴입니다.