판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9157801

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS는 광범위한 장치 처리 요구를 해결하기 위한 차세대 원자로입니다. 중요한 증착 프로세스 매개변수에 대한 정확한 제어 기능을 제공하며 회사의 DPS (Dual Patterning Solution) 제품군의 최신 이터레이션입니다. 이 원자로는 오늘날의 고급 도량형, 증착, 에치 (etch) 및 표면 처리 작업을 정확한 프로세스 제어로 안정적으로 처리하도록 설계되었습니다. AMAT 센츄라 DPS (Centura DPS) 는 고급 증착 및 패턴화 기술과 향상된 프로세스 안정성을 결합한 최첨단 장치의 고수요 생산에 적합합니다. DPS 는 보어 (Bore) 와 트렌치 (Trench), 보다 전통적인 장치 프로세스 (Device Process) 와 같은 고해상도 어플리케이션 모두에 대해 정확한 전체 필드 에칭 및 증착을 제공합니다. 원자로에는 전작과 비교하여 온도, 압력, 플라즈마 균일성이 크게 개선 된 동봉 된 단일 웨이퍼 공정 챔버 (closed single-wafer process chamber) 가 있습니다. 대류 냉각 디자인은 훨씬 더 깊은 초점과 함께 개선 된 장기 안정성을 제공합니다. 원자로는 또한 내장 자동 챔버 플러시 기능을 제공하여 균질 한 공정 가스를 제공합니다. DPS 는 증착 (deposition) 및 식각 (etch) 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하여 반복 가능한 제품 결과를 제공합니다. 또한이 공정 챔버는 실시간 플라즈마 및 압력 피드백을 제공합니다. 노출 후 모델 교정이 필요 없으며 즉시 프로세스 교정이 가능합니다. 고급 웨이퍼 지원 시스템을 사용하는 DPS 는 에칭 (etching) 및 등각 (conformal) 코팅 모두에 이상적인 환경을 제공합니다. 고급 프로세스 기능 외에도 APPLIED MATERIALS Centura DPS (APPLIED MATERIALS Centura DPS) 는 열 폭주 시나리오를 감지 할 수있는 내장 온도 센서를 포함하여 뛰어난 안전 기능을 제공합니다. 개별적으로 주소 지정 가능한 레시피 모듈을 사용하면 사용자가 최대 유연성으로 레시피 설정을 조정할 수 있습니다. Centura DPS는 다양한 프로세스의 요구를 충족시킬 수있는 강력한 원자로입니다. 최첨단 기능, 탁월한 안전 기능을 갖춘 이 제품은 모든 디바이스 운영 환경에 이상적인 솔루션입니다.